[发明专利]高纯细晶金属镍热挤压旋转靶材有效
申请号: | 201610207000.8 | 申请日: | 2016-04-05 |
公开(公告)号: | CN105861999B | 公开(公告)日: | 2018-08-07 |
发明(设计)人: | 曹兴民;庄志杰;顾宗慧 | 申请(专利权)人: | 基迈克材料科技(苏州)有限公司 |
主分类号: | C23C14/34 | 分类号: | C23C14/34 |
代理公司: | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人: | 郭春远 |
地址: | 215214 江苏省苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 高纯 金属 挤压 旋转 | ||
【说明书】:
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