[发明专利]一种微电路模块壳体与盖板的钎焊密封封盖方法及结构有效
申请号: | 201610172495.5 | 申请日: | 2016-03-24 |
公开(公告)号: | CN105689833B | 公开(公告)日: | 2018-02-23 |
发明(设计)人: | 杨伟;吴诗晗;周志勇 | 申请(专利权)人: | 株洲天微技术有限公司 |
主分类号: | H01L21/00 | 分类号: | H01L21/00;B23K1/00;B23K101/36 |
代理公司: | 北京润泽恒知识产权代理有限公司11319 | 代理人: | 吴志勇 |
地址: | 412007 *** | 国省代码: | 湖南;43 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 电路 模块 壳体 盖板 钎焊 密封 方法 结构 | ||
1.一种微电路模块壳体(2)与盖板(1)的钎焊密封封盖方法,其特征在于,在壳体顶部(7)开用于密封盖板(1)和壳体(2)的Y形坡口(8),在盖板(1)上铣出一个贯通盖板(1)的中心通孔(9),包括以下步骤:
A.电镀:钎焊前,先对壳体和盖板上除了壳体顶部(7)和盖板边缘(10)的其它位置进行电镀;
B.涂硅胶并固化:用硅胶均匀涂抹壳体台阶(11),再将盖板(1)装配在壳体台阶(11)上等待硅胶固化;
C.预热:将壳体(2)放置在热台(3)上进行预热;
D.钎焊:将壳体(2)和盖板(1)放置在热台(3)上进行钎焊;
E.抽真空与烘焙:将焊接好的壳体(2)和盖板(1)放入手套箱中抽真空,再充入高纯惰性气体,并对壳体(2)和盖板(1)进行烘焙;
F.封口:用电烙铁和焊锡丝对盖板(1)上的中心通孔(9)进行封口;
G.漏点检测:用氦气质谱仪对产品进行漏点检测;
H.返工:对漏点检测和电性能不合格的产品进行返工;
I.喷漆:对合格产品的壳体(2)和盖板(1)的外表面喷涂三防漆。
2.根据权利要求1所述的一种微电路模块壳体(2)与盖板(1)的钎焊密封封盖方法,其特征在于,步骤B中所述的涂硅胶并固化是采用耐温100℃-130℃的硅胶,用刷子将壳体台阶(11)涂抹均匀,然后把盖板(1)装配在壳体台阶(11)上,并按压盖板(1),等待硅胶固化。
3.根据权利要求1所述的一种微电路模块壳体(2)与盖板(1)的钎焊密封封盖方法,其特征在于,步骤C中所述的将壳体(2)放置在热台(3)上进行预热,是将热台(3)温度调至100℃对壳体(2)进行预热,预热时间为3-5分钟。
4.根据权利要求1所述的一种微电路模块壳体(2)与盖板(1)的钎焊密封封盖方法,其特征在于,步骤D中所述的钎焊是将铟锡焊料装入壳体(2)与盖板(1)的间隙内,放置在100℃-130℃热台(3)上,并用电烙铁对焊料局部加热,确保焊料熔化填满间隙。
5.根据权利要求4所述的一种微电路模块壳体(2)与盖板(1)的钎焊密封封盖方法,其特征在于,所述的铟锡焊料其熔点为118℃,所述的壳体(2)与盖板(1)的间隙为Y形坡口(8)。
6.根据权利要求1所述的一种微电路模块壳体(2)与盖板(1)的钎焊密封封盖方法,其特征在于,步骤E中所述的抽真空与烘焙是将已焊接完成的壳体(2)和盖板(1)放在密封手套箱中,抽真空再充入氮气或氮氦混合气体;热台(3)加热至80℃-100℃,对手套箱中的壳体(2)和盖板(1)进行烘焙,并保温20小时以上,以确保水汽能蒸发干净。
7.根据权利要求1所述的一种微电路模块壳体(2)与盖板(1)的钎焊密封封盖方法,其特征在于,步骤H中所述的返工是将微电路模块倒置于100℃热台(3),用热风枪将壳体(2)与盖板(1)之间的间隙的焊料熔化,然后将壳体(2)拿起,以避免焊料进入壳体(2)的腔体内。
8.根据权利要求1所述的一种微电路模块壳体(2)与盖板(1)的钎焊密封封盖方法制造的钎焊密封封盖结构,包括壳体(2)和盖板(1),盖板(1)盖合在壳体(2)上,其特征在于,壳体顶部(7)开有Y形坡口(8),Y形坡口(8)的下方设有┗形的壳体台阶(11),盖板(1)上开有贯通盖板(1)的中心通孔(9)。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造