[发明专利]具有内置式气液分离单元的湿法工艺设备

权利要求书

1.一种具有内置式气液分离单元的湿法工艺设备，其特征在于，所述湿法工艺设备包含：

一工艺腔体；

一气体处理单元；以及

一气液分离单元，连接在所述工艺腔体与所述气体处理单元之间，包含一传输管道和一过滤元件，所述传输管道大致有一“倒Y”形的形状，且所述传输管道包括：

一进入段，用于将所述工艺腔体内的一化学性气液混合物输入所述气液分离单元内；

一反应段，用于容置所述过滤元件，使得通过所述过滤元件的所述化学性气液混合物分离为一化学液体和一废气；以及

一排气段，用于将所述废气排入所述气体处理单元，其中所述气液分离单元的所述传输管道的所述进入段与所述反应段设置在所述工艺腔体的内部，以及其中气液分离后的所述化学液体沿着倾斜的管壁，经过位在所述反应段相对二端和所述进入段下方的排液口流回至所述工艺腔体的内部。

2.如权利要求第1项所述的具有内置式气液分离单元的湿法工艺设备，其特征在于，所述工艺腔体包含一位于上方的排气孔，所述气液分离单元的所述排气段通过所述排气孔与所述气体处理单元连通。

3.如权利要求第1项所述的具有内置式气液分离单元的湿法工艺设备，其特征在于，所述气液分离单元的所述反应段在所述工艺腔体的内部沿一方向延伸，且所述反应段的两端包含一对进入段。

4.如权利要求第3项所述的具有内置式气液分离单元的湿法工艺设备，其特征在于，所述湿法工艺设备还包含一传送单元，用于传送一基板，其中所述基板的行进方向与所述气液分离单元的所述反应段的延伸方向相同。

5.如权利要求第4项所述的具有内置式气液分离单元的湿法工艺设备，其特征在于，所述气液分离单元与所述基板相距一横向距离。

6.如权利要求第1项所述的具有内置式气液分离单元的湿法工艺设备，其特征在于，所述气液分离单元的所述反应段相对一水平面倾斜，使得所述化学液体通过所述进入段下方的排液口来流至所述工艺腔体的底部。

7.如权利要求第1项所述的具有内置式气液分离单元的湿法工艺设备，其特征在于，所述气液分离单元的所述反应段的两端相对中央向下倾斜，且所述两端分别与一对进入段连接，以及所述中央与所述排气段连接。

8.一种具有内置式气液分离单元的湿法工艺设备，其特征在于，所述湿法工艺设备包含：

一工艺腔体，其底部可接纳一待处理的基板；

一气体处理单元位在所述工艺腔体之外；以及

一气液分离单元，连接在所述工艺腔体与所述气体处理单元之间，包含一传输管道和一过滤元件，所述传输管道大致有一“倒Y”形的形状，且所述传输管道包括：

一进入段，用于将所述工艺腔体内的一化学性气液混合物输入所述气液分离单元内；

一反应段，用于容置所述过滤元件，使得通过所述过滤元件的所述化学性气液混合物分离为一化学液体和一废气；以及

一排气段，用于将所述废气排入所述气体处理单元，其中所述气液分离单元的所述传输管道的所述进入段与所述反应段设置在所述工艺腔体的内部，以及其中气液分离后的所述化学液体沿着倾斜的管壁，经过位在所述反应段相对二端和所述进入段下方的排液口流回至所述工艺腔体的内部。

9.如权利要求第8项所述的具有内置式气液分离单元的湿法工艺设备，其特征在于，所述分离出的化学液体从位在所述反应段二端的排液口滴落至所述工艺腔体的底部，所述传输管道和所述基板距离有一充分的距离使所述滴落的化学液体不会滴在所述基板上。