[发明专利]硅烷移动床反应器以及采用该反应器生产颗粒多晶硅的方法有效
| 申请号: | 201610159426.0 | 申请日: | 2016-03-21 |
| 公开(公告)号: | CN105819449B | 公开(公告)日: | 2018-07-20 |
| 发明(设计)人: | 许文;唐瑾;卢喆宇 | 申请(专利权)人: | 中国成达工程有限公司 |
| 主分类号: | C01B33/027 | 分类号: | C01B33/027 |
| 代理公司: | 成都九鼎天元知识产权代理有限公司 51214 | 代理人: | 刘凯 |
| 地址: | 610041 四川省*** | 国省代码: | 四川;51 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 硅烷 移动床反应器 以及 采用 反应器 生产 颗粒 多晶 方法 | ||
【权利要求书】:
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