[发明专利]电子部件用层叠布线膜和覆盖层形成用溅射靶材有效
| 申请号： | 201610159285.2 | 申请日： | 2016-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN105986233B | 公开（公告）日： | 2018-08-07 |
| 发明（设计）人： | 村田英夫 | 申请（专利权）人： | 日立金属株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C22C19/03 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 电子 部件 层叠 布线 覆盖层 形成 溅射 | ||
【说明书】：
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