[发明专利]Fe-Al型合金溅射靶在审
| 申请号： | 201610157434.1 | 申请日： | 2012-04-26 |
| 公开（公告）号： | CN105671498A | 公开（公告）日： | 2016-06-15 |
| 发明（设计）人： | 原田健太郎 | 申请（专利权）人： | 吉坤日矿日石金属株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/35;H01F41/18;C22C38/06 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 胡嵩麟;王海川 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | fe al 合金 溅射 | ||
【权利要求书】：
1.一种Fe-Al合金溅射靶，其特征在于，Al含量为1～23原子％， 氧含量为100重量ppm以下，其余为Fe和不可避免的杂质。
2.如权利要求1所述的Fe-Al合金溅射靶，其特征在于，氧含量 为70重量ppm以下。
3.如权利要求1所述的Fe-Al合金溅射靶，其特征在于，氧含量 为50重量ppm以下。
4.如权利要求1～3中任一项所述的Fe-Al合金溅射靶，其特征在 于，溅射时的粉粒数为35个以下。
5.如权利要求1～3中任一项所述的Fe-Al合金溅射靶，其特征在 于，溅射时的粉粒数为20个以下。
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