[发明专利]非接触式探针信号加载装置

说明书

本发明提供了一种非接触式探针信号加载装置。该非接触式探针信号加载装置包括：探针金属片，电性连接至信号载入端，其下部朝向待载入信号的信号接入金属片；其中，探针金属片与信号接入金属片形成信号传输电容，由该信号传输电容作为媒介，由探针金属片将载入的信号传输至信号接入金属片。本发明利用电容“隔直流，通交流”的特性设计非接触式探针，探针与TFT玻璃不直接接触，通过电容效应传递信号，避免了探针划伤TFT玻璃或是扎坏TFT玻璃导致碎点(Crack)的问题。

技术领域

本发明涉及光电领域及电真空领域，尤其涉及一种非接触式探针信号加载装置。

背景技术

TFT-LCD工艺生产过程中，TFT玻璃在阵列端完成所有制程后会进行电学检，这时需要一个探针信号加载装置来给TFT玻璃的信号接入金属片(Pad)加载信号，信号接入金属片利用金属线传输信号，TFT开关的栅极金属线控制TFT开关打开，源极信号线对像素电极进行充电，充电完成后，电子枪发射电子轰击TFT玻璃表面，同性相斥，充电正常的像素可以返回二次电子，充电异常的像素无法返回相同数目的二次电子，收集二次电子就会形成不同灰阶的灰度图，通过灰阶差异来判断是否存在不良。

为保证检测结果的准确性，首先必须保证信号加载的可靠性，现有的探针信号加载装置是一种接触式探针信号加载装置。图1为现有技术接触式探针信号加载装置的结构示意图。如图1所示，该接触式探针信号加载装置100包括：支撑基座110、针支撑块120、探针130、信号线140。其中，探针130固定于针支撑块120上，而针固定块120固定在支撑基座120下部的凹槽内，探针130朝向下方设置。信号经信号线140传输至探针130，探针130与TFT玻璃300上的信号接入金属片310直接接触，从而将信号加载至信号接入金属片310。

然而，在实现本发明的过程中，申请人发现现有技术接触式探针信号加载装置具有以下缺陷：

一、接触式信号加载，对TFT玻璃容易造成划伤或扎坏导致碎点(Crack)，导致面板不良率增加；

二、由于检测设备的检测型号经常切换，探针信号加载装置也要进行相应的切换，在搬送过程中极易导致探针的损坏(断或折)；

三、由于电子枪需要高真空环境才能正常工作，所以探针信号加载装置也工作在高真空环境中，一旦发生信号加载异常导致像素电极充电异常就无法正常测试，需破除设备高真空环境，并将探针信号加载装置抽取出来对其手动进行修改矫正，费时费力。

发明内容

(一)要解决的技术问题

鉴于上述技术问题，本发明提供了一种不会扎坏或划伤TFT玻璃；搬送时探针不易损坏；出现信号加载异常时可自行调整，无需破除高真空环境即可手动进行调整的非接触式探针信号加载装置。

(二)技术方案

本发明非接触式探针信号加载装置包括：探针金属片260，电性连接至信号载入端，其下部朝向待载入信号的信号接入金属片310；其中，探针金属片260与信号接入金属片310形成信号传输电容，由该信号传输电容作为媒介，由探针金属片260将载入的信号传输至信号接入金属片310。

(三)有益效果

从上述技术方案可以看出，本发明非接触式探针信号加载装置具有以下有益效果：

(1)利用电容“隔直流，通交流”的特性设计非接触式探针，探针与TFT玻璃不直接接触，通过电容效应传递信号，避免了探针划伤TFT玻璃或是扎坏TFT玻璃导致碎点(Crack)的问题；

(2)在支撑基座上设置防护凹槽，并为探针配备了回旋装置，可使探针收回至防护凹槽内，同时由于探针呈片状，因此搬送运输过程中基本不会发生探针损坏(断、折)；