[发明专利]非接触式探针信号加载装置

权利要求书

1.一种非接触式探针信号加载装置，其特征在于，包括：

探针金属片(260)，电性连接至信号载入端，其下部朝向待载入信号的信号接入金属片(310)；

其中，所述探针金属片(260)与信号接入金属片(310)形成信号传输电容，由该信号传输电容作为媒介，由探针金属片(260)将载入的信号传输至所述信号接入金属片(310)，

所述非接触式探针信号加载装置还包括：

探针座(230)，所述探针金属片固定于该探针座并与该探针座(230)电性隔离；

支撑基座(210)，其下部具有防护凹槽，该防护凹槽供所述探针座与固定于其上的探针金属片容置；以及

探针升降装置(220)，用于带动所述探针座的升降；

其中，在该探针升降装置(220)的带动下，所述探针座与固定于其上的探针金属片可处于以下两个状态其中之一：伸出状态，所述探针座与固定于其上的探针金属片从所述防护凹槽中伸出；回收状态，所述探针座与固定于其上的探针金属片回收至所述防护凹槽内。

2.根据权利要求1所述的非接触式探针信号加载装置，其特征在于，所述探针升降装置(220)包括：

升降杆(224)，其末端通过开设于防护凹槽上部的支撑基座部分的通孔伸入所述防护凹槽内，固定于所述探针座上。

3.根据权利要求2所述的非接触式探针信号加载装置，其特征在于，所述探针升降装置(220)还包括：

螺纹丝杠(222)，沿垂直于所述信号接入金属片(310)的方向设置；

螺丝滑块(223)，套设于所述螺纹丝杠的外部，其内螺纹与其内螺纹相啮合；

其中，所述升降杆(224)呈“7”字形，其前端固定在螺丝滑块上，通过螺纹丝杠(222)带动探针座(230)和探针金属片(240)上下移动。

4.根据权利要求3所述的非接触式探针信号加载装置，其特征在于，所述探针升降装置(220)还包括：

伺服电机(221)，固定于所述支撑基座的上方；

其中，所述螺纹丝杠(222)的上端固定于所述伺服电机的输出轴，下端固定于所述支撑基座对应位置的旋转底座(221)。

5.根据权利要求1所述的非接触式探针信号加载装置，其特征在于，还包括：

控制系统(240)，用于产生控制探针座升降的控制指令；

其中，所述探针升降装置(220)根据接收到的控制指令带动所述探针座升降。

6.根据权利要求5所述的非接触式探针信号加载装置，其特征在于，还包括：

下部位移传感器(251)，设置于探针座的下部，用于探测所述探针金属片(260)与下方的信号接入金属片(310)之间的第二距离；

所述控制系统(240)根据所述下部位移传感器的反馈通过探针升降装置(220)控制探针座的升降，以保证第二距离满足信号传输的需要。

7.根据权利要求5所述的非接触式探针信号加载装置，其特征在于，还包括：

上部位移传感器(252)，设置于所述探针座的上部，用于探测探针座的顶部与防护凹槽底部的第一距离；

所述控制系统(240)根据所述上部位移传感器反馈的第一距离通过探针升降装置(220)控制探针座的升起，以保证第一距离始终大于零。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的非接触式探针信号加载装置，其特征在于，所述探针金属片(260)与下方的信号接入金属片(310)之间的距离介于100μm～120μm之间。

9.根据权利要求1至7中任一项所述的非接触式探针信号加载装置，其特征在于，所述探针金属片呈与下方信号接入金属片(310)对应的阵列排布。

10.根据权利要求1至7中任一项所述的非接触式探针信号加载装置，其特征在于，应用于TFT-LCD工艺生产过程中TFT玻璃的检测；

其中，所述信号接入金属片(310)为TFT玻璃上的信号接入金属片(310)。