[发明专利]一种光伏电池制造的扩散工序所用石英器件的清洗方法

权利要求书

1.一种光伏电池制造的扩散工序所用石英器件的清洗方法，其特征是，具体步骤为：

（1）清洗槽体：取出槽内碎片和其它杂物，用纯水冲洗槽体2~20min，并排掉冲洗的水，保持槽内整洁；

（2）放入石英器件：将石英器件缓缓放入槽体中；

（3）注入纯水：注入纯水于槽体中，纯水的体积为槽体体积的1/10~1/5，防止配制酸液时酸溅起；

（4）配制溶液：按照HF:HCl:纯水的体积比为(0.3~5):(0.3~5):25的体积比例配制溶液，小心缓慢地将化学品倒入槽中，防止液体溅出；

（5）鼓泡：时间为1~20min；

（6）酸洗：酸泡1~5h；

（7）水洗：水洗时间为10~60min；

（8）冲洗：利用纯水枪冲洗干净；

（9）吹干：利用氮气枪将石英器件表面吹干；

（10）饱和：将石英制品通过三氯氧磷和氧气反应充分饱和后即可正常工艺使用。

2.根据权利要求1所述的一种光伏电池制造的扩散工序所用石英器件的清洗方法，其特征在于，所述的石英器件包括石英管、石英舟、石英舟托架、尾气管、喷淋管等。

3.根据权利要求1所述的一种光伏电池制造的扩散工序所用石英器件的清洗方法，其特征在于，所述的槽体为耐酸碱耐腐蚀槽体。