[发明专利]一种透明导电薄膜及具有该透明导电薄膜的触摸屏有效
| 申请号： | 201610075929.X | 申请日： | 2016-02-03 |
| 公开（公告）号： | CN105551582B | 公开（公告）日： | 2018-08-28 |
| 发明（设计）人： | 阮国宇;张玉春;王平 | 申请（专利权）人： | 张家港康得新光电材料有限公司 |
| 主分类号： | H01B5/14 | 分类号： | H01B5/14;G06F3/041 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215634 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 透明 导电 薄膜 具有 触摸屏 | ||
1.一种透明导电薄膜，包括基材(11)和透明导电氧化物层(23)，其特征在于，所述基材(11)的一面依次设置有水汽阻隔层(21)，硅氧化合物层(22)，透明导电氧化物层(23)，所述水汽阻隔层(21)为掺杂氮化铝的氮化硅，其中氮化铝的掺杂质量比为5％～35％；所述水汽阻隔层(21)折射率范围为1.85～2.25，其结构为SiAlN，其厚度范围为8～30nm，还包括硅氧化合物层(22)，其结构为SiOx，x范围为1.5～2，所述硅氧化合物层(22)折射率为1.45～1.65，其厚度为10～60nm。
2.根据权利要求1所述的透明导电薄膜，其特征在于，所述水汽阻隔层(21)为氧化铝，所述水汽阻隔层(21)折射率范围为1.65～1.85，其结构为Al2O3，其厚度范围为10～30nm。
3.根据权利要求1所述的透明导电薄膜，其特征在于，所述水汽阻隔层(21)为氮化铝，所述水汽阻隔层(21)折射率范围为2.2～2.3，其结构为AlN，其厚度范围为8～20nm。
4.根据权利要求1所述的透明导电薄膜，其特征在于，还包括紫外阻隔层(20)，其厚度为0.5-5μm。
5.根据权利要求4所述的透明导电薄膜，其特征在于，所述紫外阻隔层(20)为具有UV截止功能的硬化层。
6.根据权利要求1所述的透明导电薄膜，其特征在于，所述透明导电氧化物层(23)为锡掺杂氧化铟或者铝掺杂氧化锌，掺杂质量比为5％～10％，所述透明导电氧化物层(23)折射率范围为1.9～2.1，其厚度范围为10～35nm。
7.根据权利要求1-6任一项所述透明导电薄膜，其特征在于，所述水汽阻隔层(21)，硅氧化物层(22)及透明氧化物层(23)均采用Roll-to-Roll磁控溅射连续工艺制备而成。
8.一种触摸屏，其特征在于，包括权利要求1-7任一项所述的透明导电薄膜。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于张家港康得新光电材料有限公司，未经张家港康得新光电材料有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201610075929.X/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
