[发明专利]一种单晶生长炉在审
申请号: | 201610074673.0 | 申请日: | 2016-02-03 |
公开(公告)号: | CN105603510A | 公开(公告)日: | 2016-05-25 |
发明(设计)人: | 王军;孙曙光;张凤;郭维;陈浩 | 申请(专利权)人: | 江苏浩瀚蓝宝石科技有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B15/10 |
代理公司: | 北京国坤专利代理事务所(普通合伙) 11491 | 代理人: | 姜彦 |
地址: | 225300 江苏省泰*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 生长 | ||
技术领域
本发明涉及机械设备技术领域,具体涉及一种单晶生长炉。
背景技术
晶体是在物相转变的情况下形成的。物相有三种,即气相、液相和固相。只有晶体才是真正的固体;由气相、液相转变成固相时形成晶体,固相之间也可以直接产生转变;晶体生成的一般过程是先生成晶核,而后再逐渐长大。一般认为晶体从液相或气相中的生长有三个阶段:①介质达到过饱和、过冷却阶段;②成核阶段;②生长阶段。在某种介质体系中,过饱和、过冷却状态的出现,并不意味着整个体系的同时结晶。体系内各处首先出现瞬时的微细结晶粒子。这时由于温度或浓度的局部变化,外部撞击,或一些杂质粒子的影响,都会导致体系中出现局部过饱和度、过冷却度较高的区域,使结晶粒子的大小达到临界值以上。这种形成结晶微粒子的作用称之为成核作用。
晶体生长需要用到晶体生长炉,目前的晶体生长炉结构复杂,保温效果差,效能能源多,晶体生长不均匀。
发明内容
为克服上述技术问题,本发明提供一种单晶生长炉,采用的技术方案如下:
一种单晶生长炉,包括水冷提拉杆,所述水冷提拉杆内设有籽晶,水冷提拉杆下端设有坩埚,坩埚内设有晶体,坩埚底部设有干锅支撑,坩埚侧面及底部设有加热器,加热器四周设有保温屏,保温屏与坩埚顶部的坩埚口之间设有反射屏,保温屏底部设有底座,底座及保温屏外部设有壳体。
所述坩埚支撑底部设有螺纹调节。
所述坩埚支撑材料为钼。
所述底座由保温材料制成。
本发明的优点是:晶体生长炉结构简单,绝热层的绝热效果好,保温效果好,节约能源,晶体生长均匀。
附图说明
图1为本发明的拆分结构示意图。
具体实施方式
如图1所示,一种单晶生长炉,包括水冷提拉杆1,所述水冷提拉杆1内设有籽晶3,水冷提拉杆1下端设有坩埚7,坩埚7内设有晶体6,坩埚7底部设有干锅支撑9,坩埚7侧面及底部设有加热器5,加热器5四周设有保温屏2,保温屏2与坩埚7顶部的坩埚口之间设有反射屏4,保温屏2底部设有底座10,底座10及保温屏2外部设有壳体,保护产品内部结构,同时起防护作用。
所述坩埚支撑9底部设有螺纹调节,从而方便调节高低。
所述坩埚支撑9材料为钼,耐高温。
所述底座10由保温材料制成,保温效果好。
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