[发明专利]一种单晶生长炉在审
| 申请号： | 201610074673.0 | 申请日： | 2016-02-03 |
| 公开（公告）号： | CN105603510A | 公开（公告）日： | 2016-05-25 |
| 发明（设计）人： | 王军;孙曙光;张凤;郭维;陈浩 | 申请（专利权）人： | 江苏浩瀚蓝宝石科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B15/10 |
| 代理公司： | 北京国坤专利代理事务所(普通合伙) 11491 | 代理人： | 姜彦 |
| 地址： | 225300 江苏省泰*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 生长 | ||
【权利要求书】：
1.一种单晶生长炉，包括水冷提拉杆（1），其特征在于：所述水冷提拉杆（1）内设有籽晶（3），水冷提拉杆（1）下端设有坩埚（7），坩埚（7）内设有晶体（6），坩埚（7）底部设有干锅支撑（9），坩埚（7）侧面及底部设有加热器（5），加热器（5）四周设有保温屏（2），保温屏（2）与坩埚（7）顶部的坩埚口之间设有反射屏（4），保温屏（2）底部设有底座（10），底座（10）及保温屏（2）外部设有壳体。
2.根据权利要求1所述的一种单晶生长炉，其特征在于：所述坩埚支撑（9）底部设有螺纹调节。
3.根据权利要求1所述的一种单晶生长炉，其特征在于：所述坩埚支撑（9）材料为钼。
4.根据权利要求1所述的一种单晶生长炉，其特征在于：所述底座（10）由保温材料制成。
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