[发明专利]一种彩膜基板的彩色图案缺失的检测方法及装置

说明书

本发明实施例提供一种彩膜基板的彩色图案缺失的检测方法及装置，可定位出哪一种颜色图案存在缺失，且可消除人工检测方式的不足。该检测方法包括：在每个形成彩色图案的工序完成后，获取彩膜基板的预定区域的当前图像，该当前图像以灰度值向量表征；其中，所述预定区域至少包括一个像素区域；计算所述当前图像与标准样本图像的相似度；其中，所述标准样本图像至少包括与当前工序对应的正常彩膜基板的第一样本图像，所述标准样本图像以灰度值向量表征；根据所述相似度，判断当前工序是否存在彩色图案缺失的异常。用于对彩膜基板制造过程中彩色图案是否缺失进行检测。

技术领域

本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种彩膜基板的彩色图案缺失的检测方法及装置。

背景技术

液晶显示器(Liquid Crystal Display，简称LCD)具有体积小、功耗低、无辐射等特点，在当前的显示器市场中占据主导地位。

液晶显示器包括阵列基板和彩膜基板。如图1所示，形成彩膜基板包括在衬底基板10上形成黑矩阵图案20的工序、形成第一彩色光阻图案30(例如红色光阻图案)的工序、形成第二彩色光阻图案40(例如绿色光阻图案)的工序、形成第三彩色光阻图案50(例如蓝色光阻图案)的工序。其中，形成黑矩阵图案20的工序、第一彩色光阻图案30的工序、第二彩色光阻图案40的工序和第三彩色光阻图案50的工序统称为形成彩色图案的工序。

不管是形成黑矩阵图案20，还是形成第一彩色光阻图案30或第二彩色光阻图案40或第三彩色光阻图案50，都需要涂布成膜、曝光的过程才能形成相应的图案。其中，若在涂布或曝光时设备出现异常，则会出现整张基板未涂布或者未曝光的情况，从而使得基板上某一或几类图案缺失，产生无法使用的不良品。

可行的检测上述缺失的方法是采用全数检查机(Automatic OpticalInspection，简称AOI)和人工检测方式。全数检查机进行缺失检测的原理为：通过电荷耦合元件(Charge-coupled Device，简称CCD)采集待检测彩膜基板的一定区域(即，检测区域)的图像平均灰度值，与预设的基准值对比，若上述检测区域的灰度值高于基准值，则认为存在图案缺失，若低于基准值，则认为正常。

然而，该方法也仅能识别出存在图案缺失异常，无法具体判断出是哪一种颜色图案存在缺失。

对于人工检测方式，由于某些工序抽检而非全检，人员经验不足，疲劳检查，麻痹检查等，存在漏检的问题，且速度慢影响生产率。

发明内容

本发明的实施例提供一种彩膜基板的彩色图案缺失的检测方法及装置，可定位出哪一种颜色图案存在缺失，且可消除人工检测方式的不足。

为达到上述目的，本发明的实施例采用如下技术方案：

一方面，提供一种彩膜基板的彩色图案缺失的检测方法，包括：在每个形成彩色图案的工序完成后，获取彩膜基板的预定区域的当前图像，该当前图像以灰度值向量表征；其中，所述预定区域至少包括一个像素区域；计算所述当前图像与标准样本图像的相似度；其中，所述标准样本图像至少包括与当前工序对应的正常彩膜基板的第一样本图像，所述标准样本图像以灰度值向量表征；根据所述相似度，判断当前工序是否存在彩色图案缺失的异常。

优选的，所述标准样本图像还包括与上游工序对应的正常彩膜基板的第二样本图像；基于此，根据所述相似度，判断当前工序是否存在彩色图案缺失的异常，包括：根据所述当前图像与所述第一样本图像的第一相似度、以及所述当前图像与所述第二样本图像的第二相似度，判断当前工序是否存在彩色图案缺失的异常。

优选的，所述方法还包括存储对当前工序的判断结果。