[发明专利]一种基板测试设备

说明书

本发明公开了一种基板测试设备，以减小基板上图形线宽的测试误差，进而提高基板的产品品质。基板检测设备包括用于承载基板的支撑平台；用于采集基板上待测线宽图形位置信息的对位装置；朝向支撑平台设置的光强检测装置；控制装置，分别与对位装置和光强检测装置信号连接，用于根据待测线宽图形位置信息，控制光强检测装置移动经过待测线宽图形的上方；根据光强检测装置的检测数据，确定光强检测装置经过待测线宽图形的时间；根据经过待测线宽图形的时间，确定待测线宽图形的线宽。相比现有技术，本发明实施例大大减小了基板上图形线宽的测试误差，进而提高了基板的产品品质。

技术领域

本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种基板测试设备。

背景技术

在平板显示装置中，TFT-LCD(Thin Film Transistor Liquid Crystal Display，薄膜晶体管液晶显示器，简称TFT-LCD)具有体积小、功耗低、制造成本相对较低和无辐射等特点，在当前的平板显示器市场占据了主导地位。

TFT-LCD制作的核心工艺是在玻璃基板上形成具有一定线宽的图形，因此，图形线宽的精确性对TFT-LCD的产品品质有着至关重要的影响。

现有技术中，测试玻璃基板上图形线宽的主要方法为：将玻璃基板上的图形放大50倍，然后用具有一定亮度的光源照射玻璃基板上的图形，根据玻璃基板上亮度的变化确定图形的临界位置，进而根据临界位置确定图形的线宽。

现有技术存在的缺陷在于，光源在照射玻璃基板上的图形时，工作人员无法准确确定图形的临界位置，因此导致图形线宽的测试误差较大，甚至会影响玻璃基板的产品品质。

发明内容

本发明的目的是提供一种基板测试设备，以减小基板上图形线宽的测试误差，进而提高基板的产品品质。

本发明实施例提供一种基板测试设备，包括用于承载基板的支撑平台；用于采集基板上待测线宽图形位置信息的对位装置；朝向支撑平台设置的光强检测装置；控制装置，分别与对位装置和光强检测装置信号连接，用于根据待测线宽图形位置信息，控制光强检测装置移动经过待测线宽图形的上方；根据光强检测装置的检测数据，确定光强检测装置经过待测线宽图形的时间；根据经过待测线宽图形的时间，确定待测线宽图形的线宽。

在本发明实施例中，控制装置控制光强检测装置移动经过待测线宽图形的上方，通过光强检测装置检测的数据，可以精确确定光强检测装置经过待测线宽图形的时间，进而可以精确确定待测线宽图形的线宽，相比现有技术，本发明实施例大大减小了基板上图形线宽的测试误差，进而提高了基板的产品品质。

优选的，所述对位装置包括沿第一方向设置的导轨、沿第二方向设置并可沿所述导轨移动的驱动杆以及可沿驱动杆移动的对位镜头。

具体的，所述光强检测装置滑动装配于所述驱动杆。

优选的，所述控制装置，具体用于根据光强检测装置经过待测线宽图形的时间，以及存储的光强检测装置经过标准线宽图形的时间，确定待测线宽图形的线宽。

具体的，所述基板测试设备还包括位于支撑平台上的参照基板，所述参照基板具有标准线宽图形。

具体的，所述控制装置，具体用于根据以下公式，确定待测图形的线宽：

T/L＝t/x

其中，T为光强检测装置经过标准线宽图形的时间，L为标准线宽图形的标准线宽，t为光强检测装置经过待测线宽图形的时间，x为待测线宽图形的线宽。

在本发明实施例中，以控制装置检测的光强检测装置经过标准线宽图形的时间为参照，通过简单的正比关系，即可确定待测线宽图形的线宽。相比现有技术，本技术方案可以大大减小基板上图形线宽的测试误差，进而提高基板的产品品质。

优选的，所述光强检测装置包括光发射装置以及光接收装置。