[发明专利]光刻系统的连接配置

权利要求书

1.一种具有至少一个连接配置(200A、200B)的光刻系统，所述连接配置(200A、200B)包含：

第一构件(212)，

第二构件(206)，

第一界面元件(210)，其在第一接合部(220)处可释放地连接至该第一构件(212)，以及

第二界面元件(218)，其在第二接合部(222)处可释放地连接至该第二构件(206)，

其中该第一界面元件(210)具有第一接触表面(226)，该第二界面元件(218)具有第二接触表面(228)，并且在所述第一接触表面(226)和所述第二接触表面(228)在第三接合部(224)处连接之前，所述第一接触表面(226)和所述第二接触表面(228)中的至少一个构造为对准和/或选择为补偿该第一构件(212)与该第二构件(206)之间的偏移，

其中该第一界面元件(210)的第一接触表面(226)与该第二界面元件(218)的第二接触表面(228)在该第三接合部(224)处通过材料配合连接来连接。

2.如权利要求1的光刻系统，其中所述第一和第二界面元件(210、218)的第一接触表面(226)和第二接触表面(228)中的至少一个能够关于最短连接路径(418)对准，或关于与该最短连接路径垂直的方向(420)对准，和/或关于所述第一接触表面(226)和所述第二接触表面(228)彼此相关角度对准。

3.如权利要求1或2的光刻系统，其中所述第一接触表面(226)和所述第二接触表面(228)彼此平行。

4.如权利要求1或2的光刻系统，其中所述第一界面元件(210)和所述第二界面元件(218)中的至少一个具有不对称形状(218-1)，以补偿所述第一构件(212)和所述第二构件(206)之间的偏移。

5.如权利要求4的光刻系统，其中该不对称形状(218-1)为楔形。

6.如权利要求1或2的光刻系统，其中该第一界面元件(210)具有基座(302)和可倾斜可固定元件(300)，以相对于该基座(302)倾斜该第一接触表面(226)，和/或其中该第二界面元件(218)具有基座(302)和可倾斜可固定元件(300)，以相对于该基座(302)倾斜该第二接触表面(228)。

7.如权利要求1或2的光刻系统，其中该第一界面元件(210)的该第一接触表面(226)为平面的，和/或该第二界面元件(218)的该第二接触表面(228)为平面的。

8.如权利要求6的光刻系统，其中该第一界面元件(210)和/或该第二界面元件(218)的可倾斜可固定元件(300)构造成球形盖，并且其上固定该可倾斜可固定元件(300)的构件具有对应的凹槽。

9.如权利要求8的光刻系统，其中该基座(302)具有固定元件(312)，其夹住该可倾斜可固定元件(300)抵靠所述构件用于固定。

10.如权利要求1或2的光刻系统，其中该第一构件(212)具有承载结构，并且该第二构件(206)具有光学装置。

11.如权利要求10的光刻系统，其中该光学装置具有框架(204)和反射镜(202)或透镜元件。

12.如权利要求1或2的光刻系统，其中所述光刻系统是EUV光刻系统(100)。