[发明专利]用于产生光电子部件的方法以及光电子部件在审
申请号: | 201580060308.8 | 申请日: | 2015-11-05 |
公开(公告)号: | CN107078185A | 公开(公告)日: | 2017-08-18 |
发明(设计)人: | W.明希;F.辛格;T.施瓦茨;J.莫斯布格尔;S.伊莱克 | 申请(专利权)人: | 奥斯兰姆奥普托半导体有限责任公司 |
主分类号: | H01L33/00 | 分类号: | H01L33/00;H01L33/56;H01L33/58 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司72001 | 代理人: | 申屠伟进,杜荔南 |
地址: | 德国雷*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 产生 光电子 部件 方法 以及 | ||
1.一种用于产生光电子部件(10、20、30)的方法,
包括以下步骤:
-以使得光电子部件部分(100)的上侧(101)至少部分暴露在模制主体(200)的上侧(201)上这样的方式将光电子部件部分(100)嵌入到模制主体(200)中;
-在光电子部件部分(100)的上侧(101)和模制主体(200)的上侧(201)之上布置牺牲层(300)并使其结构化;
-在牺牲层(300)之上布置光学材料的层(400)并使其结构化;
-移除牺牲层(300)。
2.如在权利要求1中要求保护的所述方法,
其中该光电子部件部分(100)包括光电子半导体芯片(110),特别地发光二极管芯片。
3.如在前述权利要求中的任一项中要求保护的所述方法,
其中该光电子部件部分(100)以使得光电子部件部分(100)的下侧(102)至少部分暴露在模制主体(200)的下侧(202)上这样的方式被嵌入到模制主体(200)中。
4.如在权利要求3中要求保护的所述方法,
其中该光电子部件部分(100)具有在其下侧(102)上的电接触件(140、150)。
5.如在权利要求3和4中的任一项中要求保护的所述方法,
其中该光电子部件部分(100)到模制主体(200)中的嵌入以使得光电子部件部分(100)的上侧(101)和下侧(102)与模制主体(200)的上侧(201)和下侧(202)齐平这样的方式来实现。
6.如在前述权利要求中的任一项中要求保护的所述方法,
其中该模制主体(200)是借助于模塑方法形成的,
其中该光电子部件部分(100)在模制主体(200)的形成期间被嵌入到模制主体(200)中。
7.如在前述权利要求中的任一项中要求保护的所述方法,其中该牺牲层(300)包括光致抗蚀剂。
8.如在前述权利要求中的任一项中要求保护的所述方法,
其中经由光刻方法,特别地经由掩模、接触、灰度或激光干涉光刻,经由直接照射或经由压印方法来实现牺牲层(300)的结构化。
9.如在前述权利要求中的任一项中要求保护的所述方法,
其中通过溶解牺牲层(300)来实现牺牲层(300)的移除。
10.如在权利要求9中要求保护的所述方法,
其中借助于溶剂或蚀刻溶液来实现牺牲层(300)的溶解。
11.如在前述权利要求中的任一项中要求保护的所述方法,其中该光学材料(400)包括塑料。
12.如在前述权利要求中的任一项中要求保护的所述方法,
其中经由光刻方法或经由压印方法来实现光学材料(400)的结构化。
13.如在前述权利要求中的任一项中要求保护的所述方法,
其中将多个光电子部件部分(100)一起嵌入到模制主体(200)中,
其中在每个光电子部件部分(100)之上布置牺牲层(300)的区段并使其结构化,
其中在牺牲层(300)的每个区段之上布置光学材料(400)的区段并使其结构化,
其中通过划切模制主体(200)来使光电子部件(10、20、30)单片化。
14.如在权利要求13中要求保护的所述方法,
其中在牺牲层(300)的移除之前或在牺牲层(300)的移除之后,实现模制主体(200)的划切。
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