[发明专利]脆性衬底的分断方法

说明书

本发明涉及一种脆性衬底的分断方法。一边对刻划轮(51)施加荷重(F)一边使其滚动，由此在玻璃衬底(4)上形成沟槽线(TL)。刻划轮(51)朝与荷重(F)的面内分量(Fi)的方向相同的行进方向(DP)行进。形成沟槽线(TL)的步骤是为了获得无裂痕状态而进行。使玻璃衬底(4)在厚度方向(DT)上的裂痕沿沟槽线(TL)朝行进方向伸展，由此形成裂痕线(CL)。通过裂痕线(CL)断开沟槽线(TL)正下方的玻璃衬底(4)在与沟槽线(TL)交叉方向上的连续连接。沿裂痕线(CL)分断玻璃衬底(4)。

技术领域

本发明涉及一种脆性衬底的分断方法，尤其涉及一种使用刻划轮的分断方法。

背景技术

在平面显示面板或太阳能电池板等电气设备的制造中，经常需要将玻璃衬底等脆性衬底分断。首先在衬底上形成刻划线，然后沿此刻划线分断衬底。刻划线可通过用刀尖机械性地加工衬底而形成。通过将刀尖在衬底上滑动或滚动在衬底上通过塑性变形形成沟槽，与此同时，在所述沟槽的正下方形成垂直裂痕。之后进行被称为分断步骤的应力施加。通过分断步骤使裂痕彻底地在厚度方向上行进，由此分断衬底。

在多数情况下，分断衬底的步骤是在衬底上形成刻划线的步骤之后紧接着进行。然而，也有提议在形成刻划线的步骤与分断步骤之间进行加工衬底的步骤。所谓加工衬底的步骤是例如在衬底上设置某些部件的步骤。

例如根据国际公开第2002/104078号技术，在有机EL显示器的制造方法中，在安装封盖之前针对成为各个有机EL显示器的各个区域，在玻璃衬底上形成刻划线。因此，能够避免设置封盖之后在玻璃衬底上形成刻划线时封盖与玻璃切刀接触的问题。

另外，例如根据国际公开第2003/006391号技术，在液晶显示面板的制造方法中，2个玻璃衬底在形成刻划线之后彼此贴合。由此，能够在1次分断步骤中同时分断2块脆性衬底。

[现有技术文献]

[专利文献]

[专利文献1]国际公开第2002/104078号

[专利文献2]国际公开第2003/006391号

发明内容

[发明所要解决的问题]

根据所述现有技术，对脆性衬底的加工是在形成刻划线后进行，之后通过施加应力而进行分断步骤。这就意味着对脆性衬底进行加工时已存在垂直裂痕。可能出现在加工中意外产生所述垂直裂痕在厚度方向上进一步伸展，导致加工中本应为一体的脆性衬底被分离的情况。此外，在刻划线的形成步骤与衬底的分断步骤之间不进行衬底的加工步骤的情况下也是这样，通常需要在刻划线的形成步骤之后且在衬底的分断步骤之前搬送或保管衬底，此时也可能出现衬底被意外分断的情况。

本发明是为解决如以上的问题研究而成的，其目的在于提供一种脆性衬底的分断方法，即使预先规定了脆性衬底的分断位置，也能够防止脆性衬底在应分断时点之前意外分断。

[解决问题的技术手段]

本发明的脆性衬底的分断方法使用绕旋转轴具有设置有刀尖的外周部的刻划轮分断脆性衬底，且包含以下步骤。

准备脆性衬底，所述脆性衬底具有第1面和与第1面相反的第2面，且具有垂直于第1面的厚度方向。

接着，一边对刻划轮施加荷重，将刻划轮的外周部按压在脆性衬底的第1面上，一边使刻划轮在脆性衬底的第1面上滚动，由此在脆性衬底的第1面上发生塑性变形，从而形成具有沟形状的沟槽线。荷重具有平行于脆性衬底的第1面的面内分量。在形成沟槽线的步骤中，刻划轮在第1面上朝与面内分量方向相同的行进方向行进。形成沟槽线的步骤是为获得无裂痕状态而进行，即，沟槽线正下方的脆性衬底在与沟槽线交叉的方向上连续地相连接的状态。