[发明专利]脆性衬底的分断方法

权利要求书

1.一种脆性衬底的分断方法，使用绕旋转轴具有设置有刀尖的外周部的刻划轮分断脆性衬底，且包含：

准备脆性衬底的步骤，所述脆性衬底具有第1面和与第1面相反的第2面，且具有垂直于所述第1面的厚度方向；及

形成沟槽线的步骤，一边对所述刻划轮施加荷重，将所述刻划轮的所述外周部按压在所述脆性衬底的第1面上，一边使所述刻划轮在所述脆性衬底的所述第1面上滚动，由此在所述脆性衬底的所述第1面上产生塑性变形，从而形成具有沟形状的沟槽线；所述荷重具有平行于所述脆性衬底的所述第1面的面内分量；在形成所述沟槽线的步骤中，所述刻划轮在所述第1面上朝与所述面内分量的方向相同的行进方向行进，且形成所述沟槽线的步骤是以获得无裂痕状态而进行，即，所述脆性衬底在所述沟槽线正下方处在与所述沟槽线交叉的方向上连续地相连的状态；且

所述方法更包含形成裂痕线的步骤，使所述脆性衬底在所述厚度方向上的裂痕沿所述沟槽线朝所述行进方向伸展，由此形成裂痕线；利用所述裂痕线断开所述脆性衬底在所述沟槽线正下方处在与所述沟槽线交叉的方向上的连续相连；并且

所述方法还包含沿所述裂痕线分断所述脆性衬底的步骤。

2.根据权利要求1所述的脆性衬底的分断方法，其中形成所述裂痕线的步骤包含：伴随在所述脆性衬底的所述厚度方向上渗透的裂痕，在所述脆性衬底的所述第1面上形成与所述沟槽线相接的辅助线的步骤。

3.根据权利要求2所述的脆性衬底的分断方法，其中在形成所述辅助线的步骤中，在所述脆性衬底的所述第1面上以与所述沟槽线交叉的方式形成所述辅助线。

4.根据权利要求3所述的脆性衬底的分断方法，其中形成所述裂痕线的步骤包含沿所述辅助线分离所述脆性衬底的步骤。

5.根据权利要求2所述的脆性衬底的分断方法，其中在形成所述辅助线的步骤中，在所述脆性衬底的所述第1面上以与所述沟槽线局部重叠的方式形成所述辅助线。

6.根据权利要求1所述的脆性衬底的分断方法，更包含在所述脆性衬底的所述第2面上形成辅助线的步骤，在平面配置中所述辅助线与所述沟槽线交叉，且

形成所述裂痕线的步骤包含沿所述辅助线分离所述脆性衬底的步骤。

7.根据权利要求1所述的脆性衬底的分断方法，其中形成所述裂痕线的步骤包含对所述沟槽线的一部分照射激光的步骤。