[发明专利]气体溶解水制造装置及制造方法

权利要求书

1.一种气体溶解水制造装置，其特征在于，具备：

气体流量控制部，该气体流量控制部控制作为原料的气体的流量；

水流量测定部，该水流量测定部测定作为原料的水的流量；

水压力控制部，该水压力控制部控制所述水的压力；

气体溶解水生成部，该气体溶解水生成部将所述气体与所述水进行混合而生成气体溶解水；以及

压力测定部，该压力测定部测定供给至使用点的所述气体溶解水的压力，

所述水压力控制部控制所述水的压力，以使由所述压力测定部测定的所述气体溶解水的压力成为恒定，

所述气体流量控制部根据由所述水流量测定部测定的所述水的流量来控制所述气体的流量。

2.根据权利要求1所述的气体溶解水制造装置，其特征在于，具备：

浓度测定部，该浓度测定部测定所述气体溶解水的浓度；以及

控制部，该控制部依据由所述浓度测定部测定的所述气体溶解水的浓度，控制所述气体的流量，以使所述气体溶解水的浓度的实测值与目标值的偏差变小。

3.根据权利要求1所述的气体溶解水制造装置，其特征在于，

所述水压力控制部在0.1MPa至1MPa的压力范围内控制所述水的压力。

4.根据权利要求1所述的气体溶解水制造装置，其特征在于，

所述气体溶解水生成部具备混合器，该混合器利用文丘里效应来混合所述气体与所述水。

5.根据权利要求1所述的气体溶解水制造装置，其特征在于，

具备脱气处理部，该脱气处理部对供给至所述气体溶解水生成部的所述水进行脱气处理。

6.根据权利要求1所述的气体溶解水制造装置，其特征在于，

作为所述原料的气体为臭氧气体，所述气体溶解水为臭氧水。

7.根据权利要求6所述的气体溶解水制造装置，其特征在于，

具备臭氧气体生成部，该臭氧气体生成部生成所述臭氧气体，

所述臭氧气体生成部具备放电用的电极，该电极用于生成所述臭氧气体，

保持所述电极的保持构件以不锈钢为材料，且具有10mm以上的厚度。

8.一种气体溶解水制造方法，其特征在于，包含如下工序：

气体流量控制工序，该气体流量控制工序控制作为原料的气体的流量；

水流量测定工序，该水流量测定工序测定作为原料的水的流量；

水压力控制工序，该水压力控制工序控制所述水的压力；

气体溶解水生成工序，该气体溶解水生成工序将所述气体与所述水进行混合而生成气体溶解水；以及

压力测定工序，该压力测定工序测定供给至使用点的所述气体溶解水的压力，

在所述水压力控制工序中，控制所述水的压力，以使在所述压力测定工序中测定的所述气体溶解水的压力成为恒定，

在所述气体流量控制工序中，根据在所述水流量测定工序中测定的所述水的流量来控制所述气体的流量。