[发明专利]形状测定装置以及形状测定方法

权利要求书

1.一种形状测定装置，其特征在于包括：

第一距离测定部及第二距离测定部，它们隔着作为测定对象的被测定物互相相向地被配置，分别测定至所述被测定物为止的距离；

作为第一加速度传感器及第二加速度传感器的第一位移测定部及第二位移测定部，配设于所述第一距离测定部及所述第二距离测定部，分别测定所述第一距离测定部及所述第二距离测定部在相向方向上的位移；以及

形状运算部，基于用所述第一距离测定部及所述第二距离测定部分别测定出的第一距离测定结果及第二距离测定结果，求出利用所述第一位移测定部及所述第二位移测定部分别测定出的第一位移测定结果及第二位移测定结果而修正过的所述被测定物沿所述相向方向的厚度，来作为所述被测定物的形状。

2.根据权利要求1所述的形状测定装置，其特征在于还包括：

移动机构部，使所述被测定物和所述第一距离测定部及所述第二距离测定部在垂直于所述相向方向的平面内相对地移动，

所述第一距离测定部及所述第二距离测定部，通过用所述移动机构部使所述被测定物和该第一距离测定部及第二距离测定部在所述平面内相对地移动，从而在所述被测定物的多个测定部位分别测定至所述被测定物为止的距离，

所述第一位移测定部及所述第二位移测定部，与所述第一距离测定部及所述第二距离测定部在所述多个测定部位分别测定至所述被测定物为止的距离的时机同步，分别测定所述相向方向上的位移，

所述形状运算部分别在所述多个测定部位，基于用所述第一距离测定部及所述第二距离测定部分别测定出的第一距离测定结果及第二距离测定结果，分别求出利用所述第一位移测定部及所述第二位移测定部分别测定出的第一位移测定结果及第二位移测定结果修正过的所述被测定物沿所述相向方向的厚度，求出所述被测定物的厚度分布来作为所述被测定物的形状。

3.根据权利要求1或2所述的形状测定装置，其特征在于，

所述第一距离测定部及所述第二距离测定部分别包括光干涉方式位移传感器或静电容量方式位移传感器，以所述被测定物相对于预先设定的基准的位移测定至所述被测定物为止的距离，并测定所述位移的位移量。

4.一种形状测定方法，其特征在于包括以下工序：

距离测定工序，用隔着测定对象的被测定物互相相向地被配置的第一距离测定部及第二距离测定部分别测定至所述被测定物为止的距离；

位移测定工序，将作为第一加速度传感器及第二加速度传感器的第一位移测定部及第二位移测定部配设于所述第一距离测定部及所述第二距离测定部，分别测定所述第一距离测定部及所述第二距离测定部在相向方向上的位移；以及

形状运算工序，基于在所述距离测定工序分别测定出的所述第一距离测定部及所述第二距离测定部的第一距离测定结果及第二距离测定结果，求出用在所述位移测定工序分别测定出的所述第一位移测定部的第一位移测定结果及所述第二位移测定部的第二位移测定结果修正过的所述被测定物沿所述相向方向的厚度，来作为所述被测定物的形状。