[发明专利]器件的检查方法、探针卡、中继板以及检查装置

权利要求书

1.一种器件的检查方法，对在衬底上形成的多个器件的电气特性进行检查，该检查方法的特征在于，包括：

第一步骤，从测试仪对与所述测试仪并联连接的多个器件同时输入试验信号；以及

第二步骤，根据基于所输入的所述试验信号的来自所述多个器件的响应信号的合成值，来进行是否为所述多个器件中的一个以上的器件不合格的判定。

2.根据权利要求1所述的器件的检查方法，其特征在于，

在所述第二步骤中，将所述合成值与预先设定的阈值进行比较，在未达到所述阈值的情况下，判定为所述多个器件中的一个以上的器件不合格，并且，

所述器件的检查方法还具备以下的设定新阈值的步骤：在所述第二步骤中未达到所述阈值的情况下，设定与所述阈值不同的新阈值，

使用所述新阈值来再次进行所述第一步骤和所述第二步骤。

3.根据权利要求2所述的器件的检查方法，其特征在于，

重复执行所述设定新阈值的步骤、所述第一步骤以及所述第二步骤，直到达到所述新阈值为止，由此检测不合格的所述器件的数量。

4.根据权利要求3所述的器件的检查方法，其特征在于，

多级地设定所述阈值，当将第N次判定中设定的阈值设为TH_N、将第N+1次判定中设定的阈值设为TH_N+1时，具有TH_N>TH_N+1的关系，其中，N表示1以上的正整数，并且

在所述多个器件包括n个器件、且所述n个器件全部合格时的所述响应信号的合成值为S₀的情况下，所述阈值TH_N满足下面的式(1)的关系，其中，n表示2以上的正整数，

[数1]

S₀×[n-(N-1)]/n≥TH_N＞S₀×(n-N)/n…(1)。

5.根据权利要求1所述的器件的检查方法，其特征在于，

所述器件是非易失性半导体存储器，所述第一步骤和所述第二步骤是作为所述非易失性半导体存储器的写入试验来执行的。

6.一种探针卡，配置于对在衬底上形成的多个器件的电气特性进行检查的测试仪与所述衬底之间，该探针卡的特征在于，具备：

多个探针，该多个探针与多个所述器件的电极焊盘分别接触；以及

支承基板，其支承所述多个探针，

其中，所述支承基板具有：

输入线路，其与所述探针连接，将来自所述测试仪的试验信号传输到多个所述器件；

多个个别输出线路，该多个个别输出线路与所述探针连接，传输基于所述试验信号的来自所述器件的响应信号；以及

共同输出线路，其将多个所述个别输出线路合并，来将来自多个所述器件的所述响应信号进行合成后向所述测试仪传输，

其中，在所述个别输出线路上具备电阻部，该电阻部具有比所述器件的内部电阻大的电阻。

7.根据权利要求6所述的探针卡，其特征在于，

在所述个别输出线路上还具有与所述电阻部串联连接的继电器开关部。

8.一种中继板，配置于对在衬底上形成的多个器件的电气特性进行检查的测试仪与所述衬底之间，该中继板的特征在于，具有：

输入线路，其向多个所述器件传输来自所述测试仪的试验信号；

多个个别输出线路，该多个个别输出线路传输基于所述试验信号的来自所述器件的响应信号；以及

共同输出线路，其将多个所述个别输出线路合并，将来自多个所述器件的所述响应信号进行合成后向所述测试仪传输，

其中，在所述个别输出线路上具备电阻部，该电阻部具有比所述器件的内部电阻大的电阻。

9.根据权利要求8所述的中继板，其特征在于，

在所述个别输出线路上还具有与所述电阻部串联连接的继电器开关部。