[发明专利]用于电子器件的纳米探测的装置以及方法

权利要求书

1.一种用于对半导体器件执行纳米探测的纳米探针，包括：

致动器；

探针臂，所述探针臂在第一端部处耦合到所述致动器，其中，所述致动器被配置为根据所述致动器接收到的运动信号来移动所述探针臂；

探针头，所述探针头附接到所述探针臂的第二端部；

多个探针尖端，每个探针尖端均以特定的单个取向固定地附接到所述探针头，以使得所述多个探针尖端形成与所述半导体器件的探测目标的几何布置相对应的固定布置。

2.根据权利要求1所述的纳米探针，其中，所述探针头还包括对准目标。

3.根据权利要求2所述的纳米探针，其中，所述探针头包括绝缘体材料，并且所述对准目标包括导电材料。

4.根据权利要求3所述的纳米探针，其中，所述对准目标包括金。

5.根据权利要求1所述的纳米探针，其中，所述探针尖端中的每个探针尖端均包括导电材料，并且还包括多条导电线，每条导电线均连接到所述探针尖端中的一个探针尖端。

6.根据权利要求1所述的纳米探针，其中，所述探针臂包括能够将所述探针头从所述探针臂拆卸下来的拆卸耦合器。

7.根据权利要求1所述的纳米探针，还包括具有多个探针尖端的第二探针头，每个探针尖端均以单个取向固定地附接到所述第二探针头，以使得所述多个探针尖端形成第二固定布置，并且还包括能够以所述第二探针头来替换所述探针头的拆卸耦合器。

8.一种用于对半导体器件执行纳米探测的系统，包括：

真空腔；

扫描电子显微镜柱状物，所述扫描电子显微镜柱状物被设置为在所述真空腔内部辐射电子束；

多个纳米探针，所述多个纳米探针被设置在所述真空腔内部；

其中，所述纳米探针中的至少一个纳米探针包括：

致动器；

探针臂，所述探针臂在第一端部处耦合到所述致动器，其中，所述致动器被配置为根据所述致动器接收到的运动信号来移动所述探针臂；

探针头，所述探针头附接到所述探针臂的第二端部；

多个探针尖端，每个探针尖端均以特定的单个取向固定地附接到所述探针头，以使得所述多个探针尖端形成与所述半导体器件的探测目标的几何布置相对应的固定布置。

9.根据权利要求8所述的系统，还包括多个替换探针头，每个替换探针头均包括多个探针尖端，每个探针尖端均以单个取向固定地附接到所述探针头，以使得所述多个探针尖端形成与所述半导体器件的探测目标的几何布置相对应的固定布置。

10.根据权利要求9所述的系统，其中，所述纳米探针中的至少一个纳米探针包括：

致动器；

探针臂，所述探针臂在第一端部处耦合到所述致动器，其中，所述致动器被配置为根据所述致动器接收到的运动信号来移动所述探针臂；

硬化的探针尖端，所述硬化的探针尖端附接到所述探针臂。

11.根据权利要求10所述的系统，其中，所述硬化的探针尖端包括金刚石。

12.根据权利要求8所述的系统，所述探针头还包括对准目标。

13.根据权利要求12所述的系统，其中，所述探针头包括绝缘体材料，并且所述对准目标包括导电材料。

14.根据权利要求13所述的系统，其中，所述对准目标包括金。

15.根据权利要求8所述的系统，其中，所述探针尖端的至少一个子集包括导电材料，并且还包括多条导电线，每条导电线均连接到包括导电材料的所述探针尖端中的一个探针尖端。