[发明专利]具有埃厚的表面氧化物层的铜键合丝

权利要求书

1.具有10至80微米的直径的铜丝，其中铜丝本体材料是≥ 99.99重量%纯铜或由10至1000重量ppm银和/或0.1至3重量%钯及补足100重量%的作为余量的铜构成的铜合金，其特征在于所述铜丝具有0.5至< 6纳米的氧化铜薄周向表面层。

2.权利要求1的铜丝，其特征在于其表现出从丝外表面起在垂直方向上经0.6至5纳米的深度的游离碳浓度梯度。

3.前述权利要求任一项的铜丝，其可通过包括下列步骤的方法获得：

(a) 提供≥ 99.99重量%纯铜或所述铜合金的铜前体，

(b) 拉制所述前体直至达到10至80微米的丝的最终直径；

(c) 在90至96体积%惰性气体:4至10体积%氢气气氛中将经拉制的丝在570至750℃的目标温度下退火0.2至0.4秒，和

(d) 将经退火的丝在水中淬火，

其中体积%合计为100体积%。

4.权利要求3的铜丝，

其中所述铜丝本体材料是≥ 99.99重量%纯铜且目标温度为570至630℃。

5.权利要求3的铜丝，

其中所述铜丝本体材料是所述铜合金且目标温度为620至750℃。

6.权利要求3的铜丝，

其中惰性气体:氢气的体积比为95 : 5。

7.权利要求3的铜丝，

其中所述惰性气体是氮气和/或氩气。

8.权利要求3的铜丝，

其中通过将所述丝拉过用惰性气体/氢气混合物以位于43至125 min^-1范围内的气体交换速率吹扫的退火炉来完成退火。

9.权利要求8的铜丝，

其中所述气体交换速率为43至75 min^-1。

10.权利要求8的铜丝，

其中所述气体交换速率为50至63 min^-1。

11.用于制造权利要求1或2的铜丝的方法，其包括以下步骤：

(a) 提供≥ 99.99重量%纯铜或所述铜合金的铜前体，

(b) 拉制所述前体直至达到10至80微米的丝的最终直径；

(c) 在90至96体积%惰性气体: 4至10体积%氢气气氛中将经拉制的丝在570至750℃的目标温度下退火0.2至0.4秒，和

(d) 将经退火的丝在水中淬火，

其中体积%合计为100体积%。

12.权利要求11的方法，

其中所述铜丝本体材料是≥ 99.99重量%纯铜且目标温度为570至630℃。

13.权利要求11的方法，

其中所述铜丝本体材料是所述铜合金且目标温度为620至750℃。

14.权利要求11至13任一项的方法，

其中惰性气体 : 氢气的体积比为95 : 5。

15.权利要求11至13任一项的方法，

其中所述惰性气体是氮气和/或氩气。

16.权利要求11至13任一项的方法，

其中通过将所述丝拉过用惰性气体/氢气混合物以位于43至125 min^-1范围内的气体交换速率吹扫的退火炉来完成退火。

17.权利要求16的方法，

其中所述气体交换速率为43至75 min^-1。