[实用新型]一种泡沫金属的高速真空镀膜设备

说明书

（一）技术领域

本实用新型涉及泡沫金属生产领域，特别涉及一种泡沫金属的高速真空镀膜设 备。

（二）背景技术

泡沫金属是一种具有海绵状三维多孔结构的金属材料。连续泡沫金属（例如：泡沫 镍）的规模化生产开始于21世纪初，是一种应用领域广泛的新技术材料。其中泡沫镍、泡沫 铜可用于镍氢电池、燃料电池的电极材料，汽车催化剂转换器、催化燃烧、柴油车黑烟净化 器的催化剂载体，可用作过滤器材料，处理流体中磁性粒子的磁流导体，用于储氢媒介、热 交换媒介。

随着泡沫金属的应用领域的不断扩大，泡沫金属的生产效率和成本成为其生产企 业的瓶颈问题。在泡沫金属的生产过程中涉及泡沫金属产品模芯导电化处理过程，模芯导 电化处理可采用真空镀膜技术、化学镀或浸涂导电胶的方法。真空镀膜工艺具有产品纯度 高、无污染，成品阻值均匀等显著优势，在泡沫金属生产中已逐步替代化学镀和浸涂导电胶 工艺。然而目前的真空镀膜工艺效率较低，生产成本较高，难以满足现在企业的需求。

（三）实用新型内容

本实用新型为了弥补现有技术的不足，提供了一种泡沫金属的高速真空镀膜设 备，可以提高现有镀膜生产速度50%以上，缩短抽空时间50%以上。

本实用新型是通过如下技术方案实现的：

一种泡沫金属的高速真空镀膜设备，其特征在于：包括相互对称的上卷绕室和下 卷绕室，上卷绕室和下卷绕室中间设有镀膜室；所述上卷绕室和下卷绕室内设有卷辊；所述 卷辊通过电机带动；所述镀膜室包括壳体，壳体上下分别设有法兰；所述壳体内壁上设有N 组相对的阴极靶和冷却装置；所述冷却装置与循环管相连，阴极靶与设备的溅射电源相连； 所述电机、溅射电源等通过PCL控制器控制。

所述上卷绕室和下卷绕室的端口呈长方形，且端口处分别设有连接法兰，该连接 法兰分别与镀膜室的法兰连接。

所述阴极靶表面为平面，冷却装置为长方体冷却板。

所述阴极靶表面为弧面，冷却装置为圆柱形冷却滚。

所述镀膜室内位于法兰处设有导向辊。

上述阴极靶在镀膜室的壳体内交错排列。

泡沫金属的高速真空镀膜设备的使用工艺，包括以下步骤：（1）将高速真空镀膜设 备抽真空，然后通入惰性气体；（2）启动PCL控制器，镀膜金属通过阴极靶溅射到模芯上；（3） 在镀膜的同时冷却装置将模芯冷却；（4）通过改变上卷绕室和下卷绕室中的卷辊的转动方 向，使得模芯自动多次镀膜。

镀膜金属包括镍、铜、锌。

泡沫金属的高速真空镀膜设备的使用工艺的工艺条件包括：镀膜速度：1~10m/ min；镀膜功率：3~10KW；镀膜往复次数：2~10次；惰性气体流量：100~400SCCM；镀膜真空度： 小于等于6×10^-1Pa。

上述惰性气体为氩气。

本实用新型采用整体“类眼镜状”对称结构，在采用普通真空抽空机组的情况下， 实现缩短抽空时间的目的。采用多靶极，短间距溅射，模芯接触式直接冷却的方案，实现模 芯在真空环境下高速镀膜。

本实用新型模芯放置于上卷绕室和下卷绕室内，通过调节电机的运转方向使得模 芯既可以从上至下运动，也可以从下至上运动，实现多次镀膜。

镀膜部分采用金属壳体，内部设有阴极靶，冷却板或冷却辊，以及与冷却板或冷却 辊相连接的冷却水循环管。模芯先经过阴极靶，被溅射镀膜后，立即与冷却板或冷却辊接 触，进行降温，再经过下一级阴极靶溅射镀膜，再降温，如此多次，完成镀膜的过程。

本实用新型整体采用类眼镜状结构设计，与类似功能的镀膜设备相比，设备空间 减少70%以上，同等抽空机组条件下，可实现抽空时间减少50%以上。同时，镀膜区采用狭缝 式扁平设计，有效减少镀膜金属颗粒向镀膜区之外飞溅，有利于镀膜后的设备清洁工作和 保护环境。

本实用新型的有益效果是：本实用新型采用多靶极，短间距溅射，模芯接触式直接 冷却的方案，实现模芯在真空环境下高速镀膜。

（四）附图说明

下面结合附图对本实用新型作进一步的说明。

图1为本实用新型的结构示意图。

图2为本实用新型镀膜室及冷却板的结构示意图。

图3为本实用新型镀膜室及冷却辊的结构示意图。