[实用新型]基于光热检测和光学显微的光学材料缺陷实时成像装置

权利要求书

1.一种基于光热检测和光学显微的光学材料缺陷实时成像装置，其特征在于：包括用于放置样品的样品台以及分别与样品光路连接的泵浦光源、探测光源、光学照明光源和探测装置；

所述泵浦光源与样品之间设有泵浦光聚焦装置，所述探测光源与样品之间设有探测光第一聚焦装置，所述样品位于泵浦光聚焦装置和探测光第一聚焦装置的焦平面处；

所述光学照明光源与样品之间依次设有光学照明光分束装置和光学照明光反射装置，所述光学照明光反射装置设置在泵浦光源与泵浦光聚焦装置之间；

所述泵浦光源，用于输出泵浦光束，所述泵浦光束经过光学照明光反射装置透射后，再经过泵浦光聚焦装置聚焦在样品上；

所述探测光源，用于输出探测光束，所述探测光束经过探测光第一聚焦装置聚焦在样品上，且所述探测光束的聚焦光斑与泵浦光束的聚焦光斑重合；

所述光学照明光源，用于输出光学照明光束，所述光学照明光束依次经过光学照明光分束装置反射、光学照明光反射装置反射后，再经过泵浦光聚焦装置聚焦在样品上，且所述光学照明光束的聚焦光斑与泵浦光束和探测光束的聚焦光斑重合；从样品反射的光学照明光束依次经过泵浦光聚焦装置收集、光学照明光反射装置反射、光学照明光分束装置透射后，再经过成像透镜聚焦在成像装置上；

所述探测装置，用于接收从样品出射的探测光束，并对接收的探测光束传播特性的变化进行检测。

2.根据权利要求1所述的基于光热检测和光学显微的光学材料缺陷实时成像装置，其特征在于：所述泵浦光源与光学照明光反射装置之间依次设有泵浦光斩波装置和泵浦光扩束装置。

3.根据权利要求1所述的基于光热检测和光学显微的光学材料缺陷实时成像装置，其特征在于：所述探测光源与探测光第一聚焦装置之间设有探测光扩束装置，所述探测光第一聚焦装置与样品之间设有入射探测光偏转装置。

4.根据权利要求1所述的基于光热检测和光学显微的光学材料缺陷实时成像装置，其特征在于：所述探测装置与样品之间设有出射探测光偏转装置。

5.根据权利要求1或4所述的基于光热检测和光学显微的光学材料缺陷实时成像装置，其特征在于：所述探测装置包括依次设置的探测光第二聚焦装置、空间滤波装置、滤光装置和光电探测装置。

6.根据权利要求1所述的基于光热检测和光学显微的光学材料缺陷实时成像装置，其特征在于：所述样品台配有调节装置，所述调节装置用于调节样品台的位置。