[实用新型]一种盛放于石英舟中硅片用的降温器

说明书

技术领域

本实用新型属于降温设备技术领域，具体涉及一种盛放于石英舟中硅 片用的降温器。

背景技术

硅片是太阳能电池中的主要组成部分，在单晶炉中生长的硅棒需要经 过后续加工成硅片，然后应用于太阳能电池片的加工，有些硅片在加工后 会出现同心圆缺陷，在对该缺陷进行消除的过程中，需要将硅片装入石英 舟中进行高温加热再快速降温冷却，而目前的降温器主要采用风扇风冷， 单个风扇只能对少量集中的硅片进行冷却，对于一组多个硅片的降温采用 多个风扇进行，风冷过程中存在降温均匀程度较差的情况，导致缺陷不能 完全消除或者导致其他形式的缺陷，经过修复的硅片不能用于太阳能电池 板的制作，因此，为了提高大量硅片散热的速度并保证散热效果，需要对 现有的散热器进行改进。

实用新型内容

本实用新型克服了现有技术的不足，提供了一种盛放于石英舟中硅片 用的降温器，该降温器能够同时对大量的硅片进行散热冷却，而且各个部 位的散热效果较为均匀，硅片冷却后的品质较为均匀，能够正常应用于太 阳能电池片的制作中，提高了有缺陷硅片的加工效率，避免了硅片的大量 浪费。

本实用新型的具体技术方案是：

一种盛放于石英舟中硅片用的降温器，关键点是，该降温器包括框架 式的支撑架，支撑架下部设置有置物架，置物架包括平行排布的一组横杆， 相邻两横杆的间距小于石英舟的长度，支撑架上部设置有门型支架，支架 下端面设置有风扇组，风扇组与置物架位置上下相对，石英舟横跨放置在 两个相邻横杆上端面之后，所有的横杆和石英舟之间的呈矩阵式分布的间 隙形成竖直向下的风道。

所述的风扇组包括四个位于同一直线上的风扇。

所述的四个风扇中，相邻的两个风扇转向相反，且风向均为向下。

所述的横杆上设置有一组等距离的定位槽，定位槽的内轮廓与石英舟 的底部外轮廓相吻合。

本实用新型的有益效果是：该降温器用于石英舟中硅片的快速降温， 该降温器的置物架使用横杆支撑石英舟，并且设置有定位槽进行固定定位， 横杆之间及石英舟之间的间隙在风冷作用下形成风道，并且石英舟底部与 横杆的悬空面积较大，也能够加快散热，支架上设置的风扇中，相邻两个 风扇的旋向不同，能够相互抵消横向的偏置气流，促使气流趋于垂直向下， 避免风向偏重导致的硅片品质不均匀现象，使用该降温器既能够加快降温 的速度，提高工作效率，又能使大量硅片的降温趋于均匀，改善硅片的品 质。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图。

图2是图1的左视图。

附图中，1、横杆，2、支架，3、风扇，4、定位槽。

具体实施方式

本实用新型涉及一种盛放于石英舟中硅片用的降温器，该降温器包括 框架式的支撑架，支撑架下部设置有置物架，置物架包括平行排布的一组 横杆1，相邻两横杆1的间距小于石英舟的长度，支撑架上部设置有门型支 架2，支架2下端面设置有风扇组，风扇组与置物架位置上下相对，石英舟 横跨放置在两个相邻横杆1上端面之后，所有的横杆1和石英舟之间的呈 矩阵式分布的间隙形成竖直向下的风道。

具体实施例，如图1和图2所示，横杆1上设置有一组等距离的定位 槽4，定位槽4的内轮廓与石英舟的底部外轮廓相吻合，将石英舟逐个横跨 放在相邻两个横杆1的定位槽4上，定位槽4对石英舟起到定位固定作用， 避免风冷过程中石英舟的晃动或者位移，保证风冷的顺利进行，所有定位 槽4均放有石英舟后，所有石英舟在置物架上呈矩阵式排布，石英舟之间 及两个横杆1之间的空隙形成空气流通的风道，风扇组包括四个位于同一 直线上的风扇3，四个风扇3中，相邻的两个风扇3转向相反，且风向均为 向下，这样的设置使得风扇组吹出的风风向较为均匀，避免了风扇3旋向 相同导致的风向偏重，四个风扇3全部启动后，风由上向下吹，然后经过 石英舟中的硅片并将热量从风道带走，石英舟与置物架的接触面积仅为定 位槽4内轮廓，其他部位均为悬空状态，石英舟的底部也会被风冷带走一 部分热量，加快了风冷的速度且不会出现热量折返影响冷却的情况，风冷 的效率有显著提升，并且在大量硅片的冷却过程中，散热的均匀程度较好， 冷却后的硅片品质较为均匀，能够用于太阳能电池片的制作过程中。