[实用新型]一种盛放于石英舟中硅片用的降温器有效
| 申请号： | 201521110104.4 | 申请日： | 2015-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN205258663U | 公开（公告）日： | 2016-05-25 |
| 发明（设计）人： | 李世杰;吴成志;陈世杰;刘晓燕 | 申请（专利权）人： | 宁晋赛美港龙电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B33/02 | 分类号： | C30B33/02;C30B29/06 |
| 代理公司： | 石家庄元汇专利代理事务所(特殊普通合伙) 13115 | 代理人： | 刘闻铎 |
| 地址： | 055550 河北*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 盛放 石英 硅片 降温 | ||
【权利要求书】：
1.一种盛放于石英舟中硅片用的降温器，其特征在于：该降温器包括 框架式的支撑架，支撑架下部设置有置物架，置物架包括平行排布的一组 横杆(1)，相邻两横杆(1)的间距小于石英舟的长度，支撑架上部设置有 门型支架(2)，支架(2)下端面设置有风扇组，风扇组与置物架位置上下 相对，石英舟横跨放置在两个相邻横杆(1)上端面之后，所有的横杆(1) 和石英舟之间的呈矩阵式分布的间隙形成竖直向下的风道。
2.根据权利要求1所述的一种盛放于石英舟中硅片用的降温器，其特 征在于：所述的风扇组包括四个位于同一直线上的风扇(3)。
3.根据权利要求2所述的一种盛放于石英舟中硅片用的降温器，其特 征在于：所述的四个风扇(3)中，相邻的两个风扇(3)转向相反，且风 向均为向下。
4.根据权利要求1所述的一种盛放于石英舟中硅片用的降温器，其特 征在于：所述的横杆(1)上设置有一组等距离的定位槽(4)，定位槽(4) 的内轮廓与石英舟的底部外轮廓相吻合。
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