[实用新型]准直器和检查系统

权利要求书

1.一种准直器，包括：

准直器主体，该准直器主体包括第一部分和第二部分，在所述第 一部分与所述第二部分之间形成有准直缝，所述准直缝在其纵向方向 上具有第一端部和第二端部；以及

遮挡部件，该遮挡部件能够相对于所述准直器主体运动，以使得 从所述准直缝射出的射线束的夹角变化或使得从所述准直缝射出的 射线束的夹角及仰角变化。

2.根据权利要求1所述的准直器，其中，该遮挡部件能够相对 于所述准直器主体运动，以完全屏蔽从所述准直缝射出的射线。

3.根据权利要求1所述的准直器，其中，所述遮挡部件被构造 为：随着所述遮挡部件相对于所述准直器主体运动，所述准直缝的至 少一部分被所述遮挡部件遮挡，并且从所述准直缝的剩余部分射出的 射线形成连续的射线束，该连续的射线束形成的夹角或者该连续的射 线束形成的夹角及仰角能够随着所述遮挡部件相对于所述准直器主 体的运动而变化。

4.根据权利要求1或3所述的准直器，其中，随着所述遮挡部 件相对于所述准直器主体运动，所述遮挡部件能够无级调整从所述准 直缝射出的射线束的夹角或者从所述准直缝射出的射线束的夹角及 仰角。

5.根据权利要求1-3中任一项所述的准直器，其中，所述遮挡 部件包括邻近所述准直缝的第一端部设置的第一遮挡部件和/或邻近 所述准直缝的第二端部设置的第二遮挡部件，所述第一遮挡部件和/ 或所述第二遮挡部件能够沿所述准直缝的纵向方向相对于所述准直 器主体移动。

6.根据权利要求1-3中任一项所述的准直器，其中，所述遮挡 部件包括在所述准直器主体的第一部分一侧设置的第一遮挡部件和/ 或在所述准直器主体的第二部分一侧设置的第二遮挡部件，所述第一 遮挡部件和/或所述第二遮挡部件能够在经过所述准直缝并且垂直于 束流面的平面内沿垂直于所述准直缝的纵向方向的方向相对于所述 准直器主体移动。

7.根据权利要求1-3中任一项所述的准直器，其中，所述遮挡 部件包括邻近所述准直缝的端部设置的遮挡部件，所述枢轴在平行于 束流面且垂直于所述准直缝的纵向方向的方向上延伸，所述遮挡部件 能够围绕所述枢轴相对于所述准直器主体转动。

8.根据权利要求1-3中任一项所述的准直器，其中，所述遮挡 部件包括邻近所述准直缝的端部设置的遮挡部件和枢轴，所述枢轴的 轴线在垂直于束流面的方向上延伸，所述遮挡部件能够在束流面的平 面内围绕所述枢轴相对于所述准直器主体转动。

9.根据权利要求1-3中任一项所述的准直器，其中，所述遮挡 部件包括在所述准直器主体的一部分的一侧设置的遮挡部件和邻近 所述准直缝的端部设置的枢轴，所述枢轴的轴线在平行于束流面的平 面内平行于所述准直缝的纵向方向延伸，所述遮挡部件能够围绕所述 枢轴相对于所述准直器主体转动，以遮挡所述准直缝的至少一部分。

10.一种检查系统，包括：

用于发出射线的射线源；

根据权利要求1-9中任一项所述的准直器，用于对射线源发出的 射线进行准直；

用于接收所述射线的探测器；和

控制器，所述控制器与所述准直器电连接，并且被配置为控制所 述遮挡部件相对于所述准直器主体的运动。