[实用新型]闭环式哥氏力等效信号发生装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及硅微机械陀螺仪的动态标定技术，具体是一种闭环式哥氏力等效信号发生装置。

背景技术

硅微机械陀螺仪是一种采用哥氏效应原理敏感载体输入角速率信息的传感器，其具有体积小、功耗低、重量轻、成本低、抗过载特性强、易于集成化和批量生产等优点，并广泛应用于诸多领域(比如惯性导航、汽车安全、工业控制、消费电子等)。如图1-图3所示，工作在闭环检测状态下的硅微机械陀螺仪包括陀螺结构、陀螺测控电路。所述陀螺结构包括驱动轴向结构、检测轴向结构。所述检测轴向结构包括检测力反馈结构、哥氏质量、检测位移提取结构。所述陀螺测控电路包括驱动闭环回路、检测闭环回路。所述驱动闭环回路包括驱动前级放大接口、驱动次级放大器、90°移相器、整流器、驱动低通滤波器、驱动位移工作点设置装置、驱动比较器、驱动位移控制器、驱动调制器、驱动直流信号叠加装置。所述检测闭环回路包括检测前级放大接口、检测次级放大器、解调器、第一低通滤波器、检测闭环控制器。硅微机械陀螺仪的工作模态包含驱动模态和检测模态。工作时，向硅微机械陀螺仪的哥氏质量施加输入角速率信号，则硅微机械陀螺仪的检测闭环回路产生输出信号。

工作在闭环检测状态下的硅微机械陀螺仪的动力方程为：

x··+ωxQxx·+ωx2x=Fdxmxy··+ωyQyy·+ωy2y=Fc+Ffmyωx=kxmxQx=mxωxcxFdx=Fdsin(ωdt)ωd=ωxωy=kymyQy=myωycyFc=-2myΩzx·---(A1);]]>