[实用新型]一种用于多晶硅片清洗的花篮有效
| 申请号： | 201520810889.X | 申请日： | 2015-10-20 |
| 公开（公告）号： | CN205270296U | 公开（公告）日： | 2016-06-01 |
| 发明（设计）人： | 拜鹏;高伟;朱菲菲;张瑞峰 | 申请（专利权）人： | 西安烽火光伏科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B13/00 | 分类号： | B08B13/00;B08B3/12 |
| 代理公司： | 西安智萃知识产权代理有限公司 61221 | 代理人： | 张蓓 |
| 地址： | 710077 陕西省西安市高新*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 多晶 硅片 清洗 花篮 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于多晶硅片清洗的花篮，包括花篮本体（1），支撑挡杆（2），支撑板（3），插片凹槽（4），其特征在于：所述花篮本体（1）两侧的插片凹槽（4）均穿有与所述插片凹槽（4）相垂直的支撑挡杆（2），且所述支撑挡杆（2）与所述插片凹槽（4）与硅片的连接处设有与硅片相适配的倒角。
2.根据权利要求1所述的一种用于多晶硅片清洗的花篮，其特征在于：所述花篮本体（1）的两侧均设有两根支撑挡杆（2），一根设置于距所述花篮本体（1）底部的1/2位置处，另外一根设置于距所述花篮本体（1）底部的3/4位置处。
3.根据权利要求1所述的一种用于多晶硅片清洗的花篮，其特征在于：所述支撑板（3）选用软性橡胶材料制成。
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