[实用新型]硅片酸洗减薄机

说明书

技术领域

本实用新型涉及硅片化学减薄技术，特别是一种硅片酸洗减薄机。

背景技术

硅片减薄技术主要应用于6500V高压系列的可控硅、整流二极管、高密度二极管的生产工艺，单面减薄的作用是提高硅片单面的表面毫伏数，以便于下一步磷扩散工序的顺利完成。目前，国内其他企业都采用常规减薄工艺，即用磨床减薄，其存在如下问题：减薄的均匀性差，减去的厚度难以精确控制，容易碎片，而且经过金刚砂研磨，又引入杂质，造成硅片表面态难以控制。

发明内容

本实用新型的目的是为了提供一种解决上述问题的结构设计合理、操作方便的硅片酸洗减薄机，实现硅片单面化学减薄，不仅生产批量大，而且提高了成品率，节省资源，降低生产成本。

本实用新型的技术方案是：

一种硅片酸洗减薄机，包括用于盛装混酸液体的箱体，其特征在于：所述箱体内设有支架并利用支架支撑有用于装夹硅片的旋转提篮，所述旋转提篮由两个圆形固定板、横向连接于两个圆形固定板之间的圆柱状围笼、设于两个圆形固定板外侧面的转轴及对称设于两个圆形固定板外周面上的提手组成，所述圆形固定板、圆柱状围笼和转轴的轴心线重合，所述圆柱状围笼由围笼本体、与围笼本体铰接的半圆状笼盖组成，所述半圆状笼盖的开口侧边沿与围笼本体利用锁扣连接，所述围笼本体底面最低位置处沿围笼本体长度方向均匀间隔设置多个隔棱，所述箱体外侧一端固定有滑道且所述滑道上方滑动连接有支座，所述支座的水平板面延伸向箱体内顶部且水平板面上固定有倒置的伺服电机，所述伺服电机的电机轴通过传动机构与旋转提篮的其中一侧转轴相连，所述箱体的内侧壁上另固定有调节温度的耐腐蚀循环水管。

上述的硅片酸洗减薄机，所述传动机构由固定于伺服电机的电机轴端部的小锥齿轮和固定于旋转提篮的其中一侧转轴端部的大锥齿轮组成。

上述的硅片酸洗减薄机，所述支架由两个对称布置于旋转提篮两侧的立板组成，所述立板上设有对应旋转提篮的转轴的U形槽，所述转轴位于U形槽的槽底，以方便放置、取出旋转提篮。

上述的硅片酸洗减薄机，所述锁扣由设于围笼本体上的旋转扭和设于半圆状笼盖上的锁孔组成，所述旋转扭穿过锁孔后旋转90度到达锁紧位置。

上述的硅片酸洗减薄机，所述圆柱状围笼由柔性耐腐蚀材料编制而成，以具有径向伸展空间。

上述的硅片酸洗减薄机，所述支座的水平板面上另设有配重，以平衡掉伺服电机的重量。

上述的硅片酸洗减薄机，所述滑道上另设有对应支座的定位机构，以保证传动机构连接可靠。

上述的硅片酸洗减薄机，所述箱体内中部和下部均设有温度传感器。

上述的硅片酸洗减薄机，所述箱体的外侧设有保温层。

本实用新型的有益效果是：

1、通过旋转提篮带动硅片在装有酸液的箱体内旋转，旋转的同时实现减薄，对于原始硅片有效的控制了单片均匀性、重复性和稳定性，提高了最终成品率；

2、旋转提篮的圆柱状围笼对硅片具有盛装并固定位置的作用，防止由于硅片在围笼内晃动导致碎片，安全可靠；

3、由于圆柱状围笼底部沿其长度方向均匀设有多个隔棱，则可实现大量硅片的同时装夹，实现硅片减薄的批量生产，显著提高了工作效率，同时也方便了对硅片的夹装工作，一致性好；

4、伺服电机可带动旋转提篮在一定周期内交替正、反转，显著增强硅片表面的减薄均匀性；

5、伺服电机可在支座的带动下断开与旋转提篮的传动连接，则旋转提篮就能被顺利取出箱体，以便于打开圆柱状围笼的笼盖取出减薄后的硅片，操作方便；

6、通过设于箱体内的调温用的耐腐蚀循环水管，实现酸温测量、酸温控制，避免了酸温过高造成的浮胶现象，酸温过低硅片腐蚀速度慢、漂片不均匀，保证了腐蚀反应符合设计计算要求的腐蚀效率和均匀性。

综上，本申请的化学减薄方式对于成品芯片压降等动态参数的提升起到非常重要的作用，且有效的降低了磷扩时间,达到节能的目的。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图；

图2是本实用新型的旋转提篮的结构示意图；

图3是图2的后视图；

图4是本实用新型的旋转提篮内夹装部分硅片的结构示意图；

图5是图4中A部放大图；

图6是图2的侧视图；

图7是本实用新型的伺服电机的支座与箱体的配合结构示意图；

图8是本实用新型的立板的结构示意图。