[实用新型]硅片酸洗减薄机

权利要求书

1.一种硅片酸洗减薄机，包括用于盛装混酸液体的箱体，其特征在于：所述箱体内设有支架并利用支架支撑有用于装夹硅片的旋转提篮，所述旋转提篮由两个圆形固定板、横向连接于两个圆形固定板之间的圆柱状围笼、设于两个圆形固定板外侧面的转轴及对称设于两个圆形固定板外周面上的提手组成，所述圆形固定板、圆柱状围笼和转轴的轴心线重合，所述圆柱状围笼由围笼本体、与围笼本体铰接的半圆状笼盖组成，所述半圆状笼盖的开口侧边沿与围笼本体利用锁扣连接，所述围笼本体底面最低位置处沿围笼本体长度方向均匀间隔设置多个隔棱，所述箱体外侧一端固定有滑道且所述滑道上方滑动连接有支座，所述支座的水平板面延伸向箱体内顶部且水平板面上固定有倒置的伺服电机，所述伺服电机的电机轴通过传动机构与旋转提篮的其中一侧转轴相连，所述箱体的内侧壁上另固定有调节温度的耐腐蚀循环水管。

2.根据权利要求1所述的硅片酸洗减薄机，其特征在于：所述传动机构由固定于伺服电机的电机轴端部的小锥齿轮和固定于旋转提篮的其中一侧转轴端部的大锥齿轮组成。

3.根据权利要求1所述的硅片酸洗减薄机，其特征在于：所述支架由两个对称布置于旋转提篮两侧的立板组成，所述立板上设有对应旋转提篮的转轴的U形槽，所述转轴位于U形槽的槽底。

4.根据权利要求1所述的硅片酸洗减薄机，其特征在于：所述锁扣由设于围笼本体上的旋转扭和设于半圆状笼盖上的锁孔组成，所述旋转扭穿过锁孔后旋转90度到达锁紧位置。

5.根据权利要求1所述的硅片酸洗减薄机，其特征在于：所述圆柱状围笼由柔性耐腐蚀材料编制而成。

6.根据权利要求1所述的硅片酸洗减薄机，其特征在于：所述支座的水平板面上另设有配重。

7.根据权利要求1所述的硅片酸洗减薄机，其特征在于：所述滑道上另设有对应支座的定位机构。

8.根据权利要求1所述的硅片酸洗减薄机，其特征在于：所述箱体内中部和下部均设有温度传感器。

9.根据权利要求1所述的硅片酸洗减薄机，其特征在于：所述箱体的外侧设有保温层。