[实用新型]一种负压沉积装置

权利要求书

1.一种负压沉积装置，包括内部为中空结构的底座(1)，其特征在于：所述底座(1)内部安装有真空泵(2)，所述底座(1)上设置有分离室(10)，所述分离室(10)上端连通有沉积室(3)，所述沉积室(3)上端设置有用于混合待沉积粉末原料和空气的混合室(4)，所述混合室(4)内部设置有风扇(17)，所述混合室(4)上端设置有空气过滤器(5)，所述分离室(10)的下端通过高效过滤器(12)与真空泵(2)相连通，所述分离室(10)内设置有过滤网(11)；所述底座(1)上设置有用于向混合室(4)内提供待沉积粉末原料的送粉器(6)和用于测量沉积室(3)上下两端压差的压差传感器(7)，所述沉积室(3)内可拆卸安装有用于固定多孔材料工件的夹具。

2.按照权利要求1所述的一种负压沉积装置，其特征在于：所述夹具由安装在所述沉积室(3)两侧内壁上的左夹片(9-1)和右夹片(9-2)组成。

3.按照权利要求1所述的一种负压沉积装置，其特征在于：所述分离室(10)和真空泵(2)之间的管道上设置有气体流量计(13)。

4.按照权利要求1所述的一种负压沉积装置，其特征在于：所述底座(1)上设置有定位杆(14)，所述定位杆(14)上设置有用于安装所述混合室(4)和空气过滤器(5)的固定杆(15)。

5.按照权利要求1所述的一种负压沉积装置，其特征在于：所述送粉器(6)的出粉口处连接有喇叭形喷嘴(16)。

6.按照权利要求1所述的一种负压沉积装置，其特征在于：所述风扇(17)的数量为2个。