[实用新型]微机电系统装置、微机电系统开关及微机电系统集成电路

权利要求书

1.一种微机电系统装置，其特征在于，包括：

硅衬底；

分层的堆叠，覆盖所述硅衬底；

腔，定位在所述分层的堆叠内；

柔性构件，从所述分层的堆叠的层延伸到所述腔中；以及

栅极，覆盖所述柔性构件，所述栅极配置成经由电流控制所述柔性构件的运动。

2.根据权利要求1所述的微机电系统装置，其特征在于，所述栅极配置成通过电容机构、静电机构或电感中的一个或多个来控制所述运动。

3.根据权利要求1所述的微机电系统装置，其中所述腔在所述栅极的一部分的下方延伸。

4.根据权利要求1所述的微机电系统装置，其特征在于，所述柔性构件是悬臂，并且所述栅极配置成使所述悬臂偏斜。

5.根据权利要求4所述的微机电系统装置，其特征在于，所述悬臂具有大于4.0的长宽比。

6.根据权利要求4所述的微机电系统装置，其特征在于，所述悬臂是导电的，并且当偏斜时，与所述分层的堆叠的电流承载部分接触，因此闭合开关。

7.根据权利要求6所述的微机电系统装置，其特征在于，所述栅极是晶体管栅极，并且闭合所述开关允许电流在晶体管的源极端子和漏极端子之间流动。

8.一种微机电系统开关，其特征在于，包括：

硅衬底；

栅极电极，覆盖所述硅衬底，所述栅极电极配置成接收被施加用于激活所述微机电系统开关的电压；以及

柔性构件，布置在所述硅衬底和所述栅极电极之间的腔内，所述柔性构件配置成响应于施加的所述电压而偏斜，以闭合所述微机电系统开关。

9.根据权利要求8所述的微机电系统开关，其特征在于，进一步包括形成在所述衬底上的源极区域和漏极区域，其中所述微机电系统开关是一种类型的晶体管。

10.根据权利要求8所述的微机电系统开关，其特征在于，进一步包括在所述硅衬底内的掩埋氧化物层以及与所述硅衬底电接触的背侧。

11.根据权利要求8所述的微机电系统开关，其特征在于，进一步包括与所述栅极电极相邻的掺杂的外延半导体，所述掺杂的外延半导体配置成当电压施加到所述栅极电极时，与所述柔性构件接触。

12.根据权利要求8所述的微机电系统开关，其特征在于，进一步包括在所述柔性构件的一个端部处的金属末端。

13.根据权利要求8所述的微机电系统开关，其特征在于，具有0.1x0.1μm²–100x100μm²的范围内的占位面积。

14.一种微机电系统集成电路，其特征在于，包括根据权利要求9所述的晶体管。