[实用新型]一种玻璃校正装置有效
申请号: | 201520704846.3 | 申请日: | 2015-09-11 |
公开(公告)号: | CN204959036U | 公开(公告)日: | 2016-01-13 |
发明(设计)人: | 徐荣桢;孟勇 | 申请(专利权)人: | 昆山龙腾光电有限公司 |
主分类号: | C23C16/54 | 分类号: | C23C16/54;C23C16/52 |
代理公司: | 上海波拓知识产权代理有限公司 31264 | 代理人: | 杨波 |
地址: | 215301 *** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 玻璃 校正 装置 | ||
技术领域
本实用新型涉及调整与校正机械设备技术领域,特别涉及一种玻璃校正装置。
背景技术
玻璃校正机构为CVDAKT-15K机台的真空与大气过度腔室中辅助校正玻璃基板位置之用,并使玻璃基板进入玻璃成膜区域时处在预设的区域内。通常利用机械手臂将玻璃基板搬送至真空与大气过度腔室内,并处于八个校正机构之间,同时利用驱动器驱使各校正机构向着靠近玻璃基板的方向移动,使各校正机构推动玻璃基板移动,直到各校正机构处于预先设定的机械位置,此时玻璃基板被校正位置。
图1是现有的校正机构的结构示意图。如图1所示,校正机构200包括连接架210、校正块220、滚轮230、连接轴240和复位弹簧(图未示)。连接架210呈n形结构,并具有相对设置的两个支脚212,校正块220固定连接在连接架210上,滚轮230铰接于两支脚212之间,连接轴240连接于滚轮230的下方的两支脚212上。校正机构200通过连接轴240铰接在真空大气过度腔室内,复位弹簧连接于连接架210和连接轴240之间,用于复位校正机构200。当机械手臂将玻璃基板设置在真空大气过度腔室内,并使玻璃基板处于八个校正机构200之间时,驱动器与滚轮230配合驱使连接架210绕着连接轴240向着靠近玻璃基板的方向转动,各校正机构200的校正块220推动玻璃基板,校正玻璃基板的位置,校正后再利用机械手臂将玻璃基板送入玻璃成膜区域的预设区域内。
图2是现有校正机构校正玻璃基板前后的示意图。图3是现有校正块开始校正玻璃基板时的受力示意图。如图2和图3所示,玻璃基板201设置于八个校正机构200之间,且玻璃基板201相对各校正机构200具有较大的偏移量,因此在各校正机构200校正玻璃基板201前,玻璃基板201的部分侧边将会抵靠在校正块220上,当驱动器驱使各校正机构200绕着连接轴240转动时,校正块220作用在玻璃基板201上的作用力N将与玻璃平面之间存在一定夹角,如图3所示,因此会导致玻璃基板201在校正的过程中发生翘曲现象。此外,当玻璃基板201厚度较薄(例如玻璃基板201的厚度在0.4mm以下)时,容易造成玻璃基板201破片,不仅影响机台的正常生产,而且造成产能损失。
实用新型内容
本实用新型的目的在于,提供了一种玻璃校正装置,能避免玻璃基板发生翘曲和破片,减小产能损失。
本实用新型解决其技术问题是采用以下的技术方案来实现。
一种玻璃校正装置,包括相对设置的底座和承载平台以及设置于底座和承载平台之间的多个校正机构,底座上设有多个安装部,且各安装部与各校正机构对应设置,承载平台设有承载面以及围绕承载面四周边设置并贯穿承载平台的多个活动孔,各校正机构包括校正块和连接架,校正块的一端连接在连接架上,校正块的另一端穿过活动孔设置,连接架可滑动地连接在安装部上,且连接架的滑动方向平行于承载面。
在本实用新型的较佳实施例中,上述连接架和安装部之间通过导轨和滑槽配合实现连接架可滑动地连接在安装部上。
在本实用新型的较佳实施例中,上述导轨的滑动方向平行于承载平台的承载面。
在本实用新型的较佳实施例中,上述玻璃校正装置还包括缓冲件,缓冲件连接于连接架和安装部之间。
在本实用新型的较佳实施例中,上述缓冲件的滑动方向平行于连接架的滑动方向。
在本实用新型的较佳实施例中,上述缓冲件为缓冲弹簧。
在本实用新型的较佳实施例中,上述承载平台上的中间区域设有多个支撑杆,且各支撑杆远离承载平台的端部设有滚珠,各滚珠的最上端形成承载面。
在本实用新型的较佳实施例中,上述支撑杆距离承载平台的高度小于校正块距离承载平台的高度。
在本实用新型的较佳实施例中,上述活动孔呈长条形,长条形的长度方向垂直于活动孔的所在的承载面的周边,校正块能沿着平行于承载面的方向在活动孔内移动。
本实用新型的玻璃校正装置的各校正机构设置于底座和承载平台之间,且校正机构的连接架可滑动地连接在安装部上,校正机构的校正块连接在连接架上,并穿过承载平台的活动孔设置,且校正块能沿着平行于承载面的方向处在活动孔内移动。当各校正机构校正玻璃基板时,因为校正块的移动方向平行于承载面,使得各校正块作用在玻璃基板上的力处在玻璃平面内,因此本实用新型的玻璃校正装置能有效的避免因校正块的作用力与玻璃平面存在夹角而造成玻璃翘曲以及玻璃破片的问题,并能有效的保证玻璃基板进入玻璃成膜区时处在设定的区域内,减小了因破片而引起的产能损失。
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C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
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