[实用新型]非线性薄膜材料的光学非线性测量装置

权利要求书

1.一种非线性薄膜材料的光学非线性测量装置，其特征在于：包括激光器（1）、泵浦光路、探测光路、测量光路和计算机处理系统（18）；所述激光器（1）产生的入射激光入射至第一分束器（2)后并由第一分束器（2）分成泵浦光和探测光；所述泵浦光经泵浦光路入射至待测样品（8），所述探测光经探测光路入射至待测样品（8），所述探测光在待测样品（8）上产生反射形成反射激光，反射激光入射至第二分束器（13）后并由第二分束器（13）分成透射测量光和反射测量光；所述透射测量光、反射测量光分别经开孔测量光路、闭孔测量光路后通过衰减器（16）入射至同一CCD探测器（17）并在CCD探测器（17）上得到一系列开孔测量光斑和闭孔测量光斑；所述CCD探测器（17）与计算机处理系统（18）电连接，所述CCD探测器（17）上得到的测量光斑和监测光斑传输至计算机处理系统（18）。

2.如权利要求1所述的非线性薄膜材料的光学非线性测量装置，其特征在于：所述探测光路包括第一反射镜（5）、相位光阑（6）和第一透镜（7），所述探测光在第一反射镜（5）上产生反射形成反射探测激光，反射探测激光依次经相位光阑（6）、第一透镜（7）后入射至待测样品（8）。

3.如权利要求2所述的非线性薄膜材料的光学非线性测量装置，其特征在于：所述相位光阑（6）为环形结构，所述相位光阑（6）的中心阴影区域与其他区域的相位差为π/2。

4.如权利要求2或3所述的非线性薄膜材料的光学非线性测量装置，其特征在于：所述相位光阑（6）置于第一透镜（7）的前焦平面上，所述待测样品（8）置于第一透镜（7）的后焦平面上。

5.如权利要求1所述的非线性薄膜材料的光学非线性测量装置，其特征在于：入射到待测样品（8）的泵浦光和入射至待测样品（8）的探测光之间的夹角α为10°-20°。

6.如权利要求1所述的非线性薄膜材料的光学非线性测量装置，其特征在于：所述泵浦光路包括第二反射镜（9）、直角棱镜（10）、第三反射镜（11）和第二透镜（12），所述泵浦光入射至第二反射镜(9)上产生反射形成反射泵浦激光，反射泵浦激光经直角棱镜（10）后入射至第三反射镜（11）并在第三反射镜（11）上产生再次反射形成再反射泵浦激光，再反射泵浦激光经第二透镜（12）后入射至待测样品（8）。

7.如权利要求1所述的非线性薄膜材料的光学非线性测量装置，其特征在于：所述开孔测量光路包括第四反射镜（14），所述透射测量光入射至第四反射镜（14）并在第四反射镜（14）上产生反射形成开孔测量光，所述开孔测量光通过衰减器（13）入射至CCD探测器（14）并在CCD探测器（14）上得到一系列开孔测量光斑；所述闭孔测量光路包括小孔光阑（15），所述反射测量光通过小孔光阑（15）形成闭孔测量光，所述闭孔测量光通过衰减器（13）入射至CCD探测器（14）并在CCD探测器（14）上得到一系列闭孔测量光斑。

8.如权利要求7所述的非线性薄膜材料的光学非线性测量装置，其特征在于：所述小孔光阑（15）的孔径的尺寸与相位光阑（6）在远场的衍射光斑的尺寸相同。

9.如权利要求1所述的非线性薄膜材料的光学非线性测量装置，其特征在于：所述开孔测量光与闭孔测量光相互平行。

10.如权利要求1所述的非线性薄膜材料的光学非线性测量装置，其特征在于：所述第一分束器（2）的反射—透射比大于10:1。