[实用新型]超磁致伸缩驱动的二自由度精密微定位系统

说明书

技术领域

本实用新型涉及自动化设备技术领域，具体涉及一种超磁致伸缩驱动的二自由度精密微定位系统。

背景技术

在大规模集成电路、航天技术、精密机械、精密加工等领域中迫切需要高精度的定位技术。在传统的高精度定位系统中，多采用压电陶瓷驱动器作为进给系统，但因压电陶瓷驱动器存在工作电压高、驱动力小、滞后大等缺点，使得定位系统的定位精度难以提高。

超磁致伸缩材料是一种新型的磁致伸缩功能材料，在低磁场驱动下能产生高达1500～2000ppm应变值高；直径约10mm的超磁致伸缩棒材可产生约2000N的推力大；能量转换效率高达约70％；响应频率最高可达2000Hz；且其磁致伸缩性能不随时间而变化，无疲劳，无过热失效问题。

超磁致伸缩驱动器是利用超磁致伸缩材料的磁致伸缩效应制作而成的一种磁-机转换器，可应用于精密阀门控制、精密流量控制、数控机床和精密机床的进给系统，具有纳米级位移精确度、响应速度快、输出力大、结构简单等优异特性。

超磁致伸缩驱动的定位平台是采用超磁致伸缩驱动器作为驱动系统的一种精密定位装置。与采用传统压电陶瓷驱动器的定位平台相比，采用超磁致伸缩驱动的定位平台具有响应速度快，控制精度高、承受负载大等优异性能。但超磁致伸缩驱动器具有饱和非线性、磁滞特性，使得其输出位移的回程误差最高可达20％左右，不能满足精密定位的要求。

目前，超磁致伸缩驱动的定位机构多是从结构上进行改进，例如申请号200610150582.7的专利提出一种超磁致伸缩材料驱动的微位移机构，是利用杠杆原理，在磁致伸缩棒与输出杆之间设置放大机构，实现微位移放大；还例如申请号201110446226.0的专利提出一种线性输出的磁致伸缩式直线驱动器，采用两个径向排绕层数不同、绕向相同的激励线圈，互相串联，使得磁致伸缩棒的前后两段形变不一致，叠加后的线性度比传统方式要好。

然而解决超磁致伸缩驱动的定位平台的磁滞非线性问题，仅从结构上进行改进，通过增设新机构或者新结构不能从根本上解决精度低下的问题。

实用新型内容

针对现有技术的不足，本实用新型公开一种超磁致伸缩驱动的二自由度精密微定位系统，能够解决目前利用超磁致伸缩驱动器作为定位平台的驱动系统时，单纯采用改进结构的方式不能从根本上提高其定位精度的问题。

为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：一种超磁致伸缩驱动的二自由度精密微定位系统。包括底座、柔性铰链平台、挡块、夹具、数据采集卡、导线、程控电流源、位移传感器、超磁致伸缩驱动器和传感器电源；

所述的柔性铰链平台设有X向驱动器安装槽和Y向驱动器安装槽，所述的X向驱动器安装槽和Y向驱动器安装槽位于柔性铰链平台相邻的两侧边，所述的柔性铰链平台通过螺钉固定在底座上；

所述的数据采集卡通过导线与程控电流源相连，负责发出控制信号；

所述的数据采集卡通过导线与位移传感器相连，负责采集位移传感器所测出的位移信号；

所述的程控电流源经导线与超磁致伸缩驱动器相连，负责为超磁致伸缩驱动器提供驱动电流；

所述的传感器电源经导线与位移传感器相连，负责为位移传感器提供电源。

其中，所述的超磁致伸缩驱动器包括超磁致伸缩驱动器一和超磁致伸缩驱动器二；所述的超磁致伸缩驱动器一固定在柔性铰链平台的Y向驱动器安装槽内；所述的超磁致伸缩驱动器二固定在柔性铰链平台的X向驱动器安装槽内。

其中，所述的位移传感器包括位移传感器一和位移传感器二；所述的位移传感器一通过夹具一固定在柔性铰链平台上；所述的位移传感器二通过夹具二固定在柔性铰链平台上。

其中，所述的挡块包括挡块一和挡块二；所述的挡块一固定在柔性铰链平台上，与位移传感器一的触头相接触；所述的挡块二固定在柔性铰链平台上，与位移传感器二的触头相接触。

其中，还包括计算机；所述的计算机通过导线与数据采集卡连接，负责对采集到的数据进行处理，并发出控制信号到数据采集卡中。

其中，所述的导线包括数据线和电源线。

本实用新型公开一种超磁致伸缩驱动的二自由度精密微定位系统，采用两个超磁致伸缩驱动器作为精密微定位平台的驱动系统，在保证定位平台具有响应速度快、负载大、精密控制等优异特性的前提下，实现二自由度同步控制；

采用柔性铰链机构，对超磁致伸缩驱动器的输出位移进行放大，在保证具有无机械摩擦、无间隙特性、运动灵敏度高特性的同时还具有超高的位移分辨率特性；