[实用新型]晶圆取片器

权利要求书

1.一种晶圆取片器，其特征在于，包括：

手柄，所述手柄为中空结构，在所述手柄上设有泄压阀，所述泄压阀用于对手柄内部进行泄压；

真空发生器，所述真空发生器连接所述手柄的尾端；

双叉支架，所述双叉支架包括连接臂、第一叉臂和第二叉臂，所述连接臂固定在所述手柄的前端，所述第一叉臂和所述第二叉臂分别固定在所述连接臂的两端；

吸盘，所述吸盘通过弹性气管连接所述手柄的前端，且所述吸盘位于所述第一叉臂和所述第二叉臂之间，所述吸盘的吸附面略高于所述第一叉臂和所述第二叉臂的上表面。

2.根据权利要求1所述的晶圆取片器，其特征在于，所述真空发生器为软囊。

3.根据权利要求2所述的晶圆取片器，其特征在于，所述软囊与所述手柄的尾端可拆卸连接。

4.根据权利要求1至3任一项所述的晶圆取片器，其特征在于，所述第一叉臂和所述第二叉臂的上表面设有橡胶垫圈或者橡胶条。

5.根据权利要求4所述的晶圆取片器，其特征在于，所述第一叉臂和所述第二叉臂远离所述连接臂的一端为弧形。

6.根据权利要求4所述的晶圆取片器，其特征在于，所述第一叉臂和所述第二叉臂的材质为不锈钢或铝合金。