[实用新型]一种新型石墨框

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种应用于板式PECVD镀膜设备上的载板，特别涉及一种新型石墨框。

背景技术

随着欧盟双反以及PV行业竞争的加剧，客户对电池片的外观(电池片颜色)要求越来越高。现有技术中太阳能电池生产厂家所使用的板式PECVD沿石墨框传输方向靠框两侧镀膜后的硅片(距电池片边缘5mm以内)时有色差出现，其镀膜出来的半成品电池片的外观颜色已不能满足客户的要求。

如图1所示，使用在板式PECVD镀膜设备上的传统的石墨框(以5*5石墨框为例)是由宽度不同的石墨碳纤维板组成，其四周石墨碳纤维板1宽度为88mm左右，其中间的纵向4根石墨条2和横向4根石墨条3(石墨条宽度为9mm左右)相互垂直排列构成了为25个大小相等的(157mm*157mm)的pocket，每个pocket前后(指平行于石墨框的传输方向)各有2个钩点4用来承载硅片，左右(特指垂直于石墨框的传输方向)各有2个挡点5用来固定硅片的位置。

传统石墨框的缺点在于：由于石墨可以吸收等离子体，沿石墨框传输方向框两侧的石墨碳纤维板较宽，在镀膜时，两边的石墨碳纤维板会吸收较多的等离子体，导致靠框边缘的硅片沉积的等离子体相对较少，镀膜后靠框边缘的硅片易出现边缘发红(即边缘色差)的现象，从而无法满足客户对电池片的外观(电池片颜色)的要求。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种结构简单、成本低、可大大减小硅片的边缘色差、满足客户对电池片外观要求的新型石墨框。

本实用新型的上述目的通过以下的技术措施来实现：一种新型石墨框，包括由石墨板合围而成的框体和设于框体内的数个石墨条，所述石墨条呈交错分布且石墨条的两端连接在石墨板的内边沿上，在所述石墨条上设有用于定位硅片的定位结构，其特征在于：沿石墨框传输方向延伸的石墨板为两侧的石墨板，在所述两侧的石墨板上开设通槽，所述通槽沿两侧的石墨板的长度方向延伸。

本实用新型在沿两侧的石墨板上开有通槽，由于通槽是通孔状，可以减少镀膜时石墨对等离子体的吸收，减小镀膜后靠框边缘的硅片所出现的边缘色差，能够满足客户对电池片的外观(电池片颜色)的要求，同时，采用本实用新型承载硅片对制作出来的电池片的电性能以及电池片的背场粘附力均无任何负面影响。

作为本实用新型的一种优选实施方式，所述通槽由数个间隔设置的长孔组成，所述长孔成列排布。可保证石墨框两侧承载力，避免石墨去除过多，使得石墨框两侧承载力不够，导致石墨框发生变形、断裂。

本实用新型所述长孔距离其所设置的石墨板的内边沿8～20mm。

本实用新型所述长孔的宽度为8～20mm；长孔的长度为1～158mm。

本实用新型所述石墨条呈垂直分布形成若干个空格，所述石墨条包括纵向石墨条和横向石墨条，所述定位结构包括钩点和挡点，所述挡点设置在纵向石墨条上，所述钩点设置在横向石墨条上，且每个空格的前、后边各设一对钩点，左、右边各设一对挡点。

本实用新型所述石墨板采用石墨碳纤维板。

本实用新型所述长孔由激光加工制成。激光加工属于非接触式加工，其功率密度高、穿透力大，局部加热时移动速度快，热变形小，不会对石墨框造成损伤和变形，且激光加工制成的长孔表面平整、光滑、无毛刺。

与现有技术相比，本实用新型具有如下显著的效果：

⑴本实用新型在沿两侧的石墨板上开有通槽，由于通槽是通孔状，可以减少镀膜时石墨对等离子体的吸收，减小镀膜后靠框边缘的硅片所出现的边缘色差，能够满足客户对电池片的外观(电池片颜色)的要求，同时，采用本实用新型承载硅片对制作出来的电池片的电性能以及电池片的背场粘附力均无任何负面影响。

⑵本实用新型的通槽由数个间隔设置的长孔组成，可保证石墨框两侧承载力，避免石墨去除过多，使得石墨框两侧承载力不够，从而导致石墨框发生变形、断裂。

⑶长孔由激光加工制成，激光加工属于非接触式加工，其功率密度高、穿透力大，局部加热时移动速度快，热变形小，不会对石墨框造成损伤和变形，且激光加工制成的长孔表面平整、光滑、无毛刺。

⑷本实用新型结构简单、易于实现、实用性强。

附图说明

下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步的详细说明。

图1是现有石墨框的俯视图；

图2是本实用新型的俯视图。

具体实施方式