[实用新型]一种升降销及支撑组件有效
| 申请号： | 201520377413.1 | 申请日： | 2015-06-03 |
| 公开（公告）号： | CN204809201U | 公开（公告）日： | 2015-11-25 |
| 发明（设计）人： | 王亮 | 申请（专利权）人： | 昆山龙腾光电有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/683 | 分类号： | H01L21/683;H01L21/687 |
| 代理公司： | 上海波拓知识产权代理有限公司 31264 | 代理人： | 杨波 |
| 地址： | 215301 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 升降 支撑 组件 | ||
1.一种升降销，包括：螺牙、第一柱体及第二柱体，所述第一柱体的一端与所述螺牙固定连接，其特征在于：所述第一柱体的另一端与所述第二柱体采用可拆卸的方式连接。
2.根据权利要求1所述的升降销，其特征在于：
所述第一柱体包括：不锈钢柱体及不锈钢柱心，所述不锈钢柱体与所述不锈钢柱心固定连接；
所述第二柱体具有空心结构，且所述第二柱体的所述空心结构与所述不锈钢柱心的表面结构匹配，使得所述不锈钢柱心能够位于所述第二柱体的所述空心结构内。
3.根据权利要求2所述的升降销，其特征在于，所述第二柱体的所述空心结构为螺纹孔，所述不锈钢柱心的所述表面结构为与所述螺纹孔匹配的螺纹结构，所述第二柱体与所述不锈钢柱心通过所述螺纹孔及所述螺纹结构连接。
4.根据权利要求2所述的升降销，其特征在于，所述不锈钢柱体的外径大于所述不锈钢柱心的外径，所述第二柱体的外径与所述不锈钢柱体的外径相同。
5.根据权利要求1所述的升降销，其特征在于，所述第二柱体的材质为陶瓷材质。
6.根据权利要求5所述的升降销，其特征在于，所述第二柱体的陶瓷表面经抛光处理。
7.一种支撑组件，其特征在于，包括下电极、基座及如权利要求1至6任意一项所述的升降销，所述升降销的所述螺牙固定在所述基座内，所述下电极上对应所述升降销的位置设置通孔，所述升降销的所述第二柱体部分或者全部位于所述下电极的所述通孔内。
8.根据权利要求7所述的支撑组件，其特征在于，所述通孔内设置孔套。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
