[实用新型]一种用于单晶炉的变温冷却系统有效
| 申请号： | 201520376166.3 | 申请日： | 2015-06-03 |
| 公开（公告）号： | CN204825114U | 公开（公告）日： | 2015-12-02 |
| 发明（设计）人： | 刘英江;黄旭光;赵京通 | 申请（专利权）人： | 河北晶龙阳光设备有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 石家庄新世纪专利商标事务所有限公司 13100 | 代理人： | 陈建民;董金国 |
| 地址： | 055550 河北省*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 单晶炉 冷却系统 | ||
1.一种用于单晶炉的变温冷却系统,其特征在于，其包括热交换器(1)、外冷却系统和纯水循环系统；
所述外冷却系统包括相互串联连接形成回路的水冷塔(2)、阀门(3-1)、外水泵(4-1)和水源槽(5)；
所述纯水循环系统包括水冷套、副炉室水冷水路和主炉室水冷水路，所述水冷套、副炉室水冷水路由第一纯水冷却水回路与第一纯水冷冻水回路并联组成，所述主炉室水冷水路由第二纯水冷却水回路与第二纯水冷冻水回路并联组成；
所述第一纯水冷却水回路为包含纯水冷却水槽、水泵(4-2)、第一电动流量调节阀(6-1)和水冷套、副炉室(7)的串联回路；
所述第一纯水冷冻水回路为包含纯水冷却水槽、水泵(4-2)、冷冻机组(8)、第二电动流量调节阀(6-2)和水冷套、副炉室(7)的串联回路；
所述第二纯水冷却水回路为包含纯水冷却水槽、水泵(4-2)、第三电动流量调节阀(6-3)和主炉室(9)的串联回路；
所述第二纯水冷冻水回路为包含纯水冷却水槽、水泵、冷冻机组、第四电动流量调节阀(6-4)和主炉室(9)的串联回路；
所述热交换器(1)包含两个独立的循环通路，一个循环通路接入所述的外冷却系统，另一循环通路接入所述的纯水循环系统。
2.根据权利要求1所述的一种用于单晶炉的变温冷却系统,其特征在于，所述纯水冷却水槽包括串联设置的纯水冷却回水槽(12)和纯水冷却进水槽(11)，所述热交换器(1)设置于所述纯水冷却回水槽(12)和纯水冷却进水槽(11)之间。
3.根据权利要求1所述的一种用于单晶炉的变温冷却系统,其特征在于，所述水冷套、副炉室水冷水路出水口设置有第一水温传感器(10-1)，所述主炉室的出水口设置有第二水温传感器(10-2)。
4.根据权利要求1所述的一种用于单晶炉的变温冷却系统,其特征在于，还包括PLC，第一水温传感器(10-1)和第二水温传感器(10-2)分别与PLC的输入端相连，所述PLC的输出端分别与所述第一电动流量调节阀(6-1)、第二电动流量调节阀(6-2)、第三电动流量调节阀(6-3)和第四电动流量调节阀(6-4)相连。
5.根据权利要求1所述的一种用于单晶炉的变温冷却系统,其特征在于，所述第一纯水冷却水回路和所述第二纯水冷却水回路设置有冷却水阀门(3-2)，所述第一纯水冷冻水回路和所述第二纯水冷冻水回路设置有冷冻水阀门(3-3)。
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