[实用新型]用于在超声安装过程期间将衬底固定在衬底载体内的夹紧装置

权利要求书

1.一种用于在超声安装过程期间将衬底固定在衬底载体内的夹紧装置，其特征在于，所述夹紧装置包括：

具有顶板和底板的衬底载体，所述顶板和所述底板形成腔，所述腔的尺寸被设计为保持衬底；以及

定位在与所述底板相对的所述顶板的一侧上的夹紧板，所述夹紧板具有一对夹紧构件和与所述腔对准的开口，所述一对夹紧构件中的每个夹紧构件朝所述开口的中心延伸并穿过所述腔，使得当衬底被定位在所述腔内时，所述夹紧构件使所述衬底的通过所述开口被暴露的部分压靠所述底板。

2.根据权利要求1所述的夹紧装置，其特征在于，所述一对夹紧构件中的每个夹紧构件具有单独附接至所述夹紧板的弹性臂。

3.根据权利要求1所述的夹紧装置，其特征在于，所述夹紧板包含与所述一对夹紧构件不同的材料。

4.根据权利要求1所述的夹紧装置，其特征在于，所述夹紧构件由铜铍制成。

5.根据权利要求1所述的夹紧装置，其特征在于，所述一对夹紧构件中的每个夹紧构件具有被安装至所述夹紧板的底侧的第一部分、定位在所述腔内的第二部分、以及位于所述第一部分和所述第二部分之间的弯曲部分。

6.根据权利要求1所述的夹紧装置，其特征在于，所述一对夹紧构件中的每个夹紧构件被安装至所述夹紧板的沿所述开口的相对侧的部分。

7.根据权利要求1所述的夹紧装置，其特征在于，所述腔包括定位在第一夹紧构件开口和第二夹紧构件开口之间的衬底开口，所述衬底开口的尺寸被设计为使定位在其中的衬底的相对侧暴露，并且所述第一夹紧构件开口和所述第二夹紧构件开口的尺寸被设计为接收所述一对夹紧构件的部分。