[发明专利]带电粒子束系统和方法

权利要求书

1.一种带电粒子束系统，包括：

带电粒子束柱，具有形成带电粒子束的带电粒子源、物镜、以及用于改变所述带电粒子束在样品平面中的照射位置的第一偏转系统，

样品室，包括样品台，用于保持待处理样品，以及

控制器，配置为：控制所述带电粒子束以基于使用所述带电粒子束柱收集的信息来创建样品表面的高度图；存储所述高度图；以及根据所述高度图依赖所述带电粒子束的照射位置动态地调节所述物镜，其中带电粒子束系统包含产生气体场离子束的气体场离子源，并且配置为使用由所述气体场离子源发射的离子在所述样品的高温超导体材料中创建约瑟夫森结。

2.如权利要求1所述的带电粒子束系统，其中，所述控制器进一步配置成接收所述样品表面的设计数据，并且其中所述控制器还配置成基于所述设计数据和将所述样品加载到所述样品室期间或之后记录的数据的组合来控制所述第一偏转系统。

3.如权利要求1所述的带电粒子束系统，其中，所述带电粒子束柱是离子束柱，并且所述带电粒子束系统还包括具有用于形成电子束的电子源的电子光学柱。

4.如权利要求3所述的带电粒子束系统，其中，所述控制器配置为根据在以所述电子束或所述离子束记录的图像中识别的位置，调节所述带电粒子束的照射位置。

5.如权利要求1所述的带电粒子束系统，其中，所述样品台在至少三个线性独立的方向提供定位在所述样品台的样品的可运动性，并且

其中，所述样品台包括测量系统，用于测量所述样品台的运动，其中，该测量系统提供5nm或更小的测量精度。

6.如权利要求5所述的带电粒子束系统，其中，该测量系统包括干涉测量系统。

7.如权利要求1所述的带电粒子束系统，还包括用于记录所述样品表面的图像的光学图像记录系统，并且其中所述控制器配置成接收由所述光学图像记录系统记录的图像。

8.如权利要求1所述的带电粒子束系统，其中，所述带电粒子束系统包括像散校正装置，并且其中，所述控制器进一步配置成基于通过所述带电粒子束扫描所述样品表面的一部分记录的图像和扫描时被致使离开所述样品表面的相互作用产物的检测来调节所述像散校正装置。

9.如权利要求1所述的带电粒子束系统，其中，所述带电粒子束系统包括第二偏转系统，并且其中，所述控制器进一步配置成基于通过所述带电粒子束扫描所述样品表面的一部分记录的图像和扫描时被致使离开所述样品表面的相互作用产物的检测来调节所述第二偏转系统。

10.如权利要求1所述的带电粒子束系统，其中，所述控制器进一步配置为基于待处理样品区域的处理期间离开所述样品的相互作用产物或者通过测量所述带电粒子束的射束电流来控制照射在所述待处理样品区域的气体场离子束的离子的剂量。

11.如权利要求1所述的带电粒子束系统，其中，为了收集信息以创建样品表面的高度图，所述控制器配置为：

指示所述带电粒子束柱扫描所述样品表面的多个区域；

对于每个扫描的区域：i)基于使用所述带电粒子束柱收集的信息确定所述物镜的最佳聚焦设置；以及ii)记录所述物镜的最佳聚焦设置。

12.如权利要求2所述的带电粒子束系统，其中，所述样品表面的设计数据包含CAD数据。