[发明专利]用于EBSD测试的样品试验台

说明书

用于EBSD测试的样品试验台，它涉及一种样品试验台。本发明解决了用导电胶粘在样品试验台上样品在测试过程中会出现移动，图像位置容易发生改变，背散射区域发生偏移，导致试验结果不准确的问题。导轨倾斜固装在底座的上端面上，导轨的上端面上加工有燕尾槽，导轨的燕尾槽的长度方向与竖直方向之间的夹角为70°，滑块的上部为长方体形状,滑块的下部为燕尾形状，滑块的下部位于导轨的燕尾槽内且二者滑动连接，滑块的上端面与竖直方向之间的夹角为70°，限位板的下部与导轨的下部可拆卸连接，限位板的中部设置有顶丝，顶丝的一端与滑块相接触。本发明用于EBSD测试。

技术领域

本发明涉及一种样品试验台，具体涉及一种用于EBSD测试的样品试验台。

背景技术

在扫描电子显微镜(SEM)中，入射于样品上的电子束与样品作用产生几种不同效应，其中之一就是在每一个晶体或晶粒内规则排列的晶格面上产生衍射。从所有原子面上产生的衍射组成“衍射花样”，这可被看成是一张晶体中原子面间的角度关系图。20世纪90年代以来，装配在SEM上的电子背散射花样(Electron Back-scattering Patterns，简称EBSP)晶体微区取向和晶体结构的分析技术取得了较大的发展，并已在材料微观组织结构及微织构表征中广泛应用。该技术也被称为电子背散射衍射(Electron BackscatteredDiffraction，简称EBSD)或取向成像显微技术(Orientation Imaging Microscopy，简称OIM)。EBSD的主要特点是在保留扫描电子显微镜的常规特点的同时进行空间分辨率亚微米级的衍射(给出结晶学的数据)。

EBSD是目前常用的材料表征手段，测试过程中样品在垂直方向需倾斜70°，而且要求样品在水平方向不能倾斜。目前测试过程中是将样品用导电胶(或银胶)粘在样品试验台上。对于重量小的样品，需要将样品水平方向尽量与探头平行即可。而对于较重的样品，由于是倾斜70°，用传统的方法，样品在测试过程中会出现移动，图像位置容易发生改变，背散射区域发生偏移，使试验结果不准确，导致试验失败。

发明内容

本发明为解决用导电胶粘在样品试验台上样品在测试过程中会出现移动，图像位置容易发生改变，背散射区域发生偏移，导致试验结果不准确的问题，进而提供一种用于EBSD测试的样品试验台。

本发明为解决上述技术问题采取的技术方案是：

本发明的用于EBSD测试的样品试验台包括滑块、导轨、底座、限位板和顶丝，导轨倾斜固装在底座的上端面上，导轨的上端面上加工有燕尾槽，导轨的燕尾槽的长度方向与竖直方向之间的夹角为70°，滑块的上部为长方体形状,滑块的下部为燕尾形状，滑块的下部位于导轨的燕尾槽内且二者滑动连接，滑块的上端面与竖直方向之间的夹角为70°，限位板的下部与导轨的下部可拆卸连接，限位板的中部设置有顶丝，顶丝的一端与滑块相接触。

本发明与现有技术相比具有以下有益效果：

本发明的用于EBSD测试的样品试验台的滑块通过下部的燕尾固定在导轨的燕尾槽中，从而限制滑块只能沿导轨的长度方向滑动，并且导轨的燕尾槽的长度方向与竖直方向之间的夹角为70°，保证了滑块的上端面与竖直方向之间的夹角为70°，试验过程中，即使是较重的样品也可以保证样品的方向与探头方向平行，从而保证了试验的稳定性；

本发明的用于EBSD测试的样品试验台在试验时重量对测试不会造成影响，保证了滑块的上端面与竖直方向之间的夹角为70°，与现有的用导电胶粘在样品试验台上样品在测试过程中会出现移动相比，样品台不需要倾转，保证样品不会在重力的作用下发生偏移，从而保证了试验结果的稳定性。

附图说明

图1是本发明的用于EBSD测试的样品试验台的主剖视图；

图2是本发明具体实施方式一中滑块1的主视图；

图3是本发明具体实施方式一中滑块1的右视图；