[发明专利]准直器和检查系统

权利要求书

1.一种准直器，包括：

准直器主体，该准直器主体包括第一部分和第二部分，在所述第一部分与所述第二部分之间形成有准直缝，所述准直缝在其纵向方向上具有第一端部和第二端部；以及

遮挡部件，该遮挡部件能够在垂直于所述准直缝的纵向方向的方向上相对于所述准直器主体运动，以使得从所述准直缝射出的射线束的夹角变化或使得从所述准直缝射出的射线束的夹角及仰角变化；

所述遮挡部件能够相对于准直器主体运动包括转动。

2.根据权利要求1所述的准直器，其中，该遮挡部件能够相对于所述准直器主体运动，以完全屏蔽从所述准直缝射出的射线。

3.根据权利要求1所述的准直器，其中，所述遮挡部件被构造为：随着所述遮挡部件相对于所述准直器主体运动，所述准直缝的至少一部分被所述遮挡部件遮挡，并且从所述准直缝的剩余部分射出的射线形成连续的射线束，该连续的射线束形成的夹角或者该连续的射线束形成的夹角及仰角能够随着所述遮挡部件相对于所述准直器主体的运动而变化。

4.根据权利要求1或3所述的准直器，其中，随着所述遮挡部件相对于所述准直器主体运动，所述遮挡部件能够无级调整从所述准直缝射出的射线束的夹角或者从所述准直缝射出的射线束的夹角及仰角。

5.根据权利要求1-3中任一项所述的准直器，其中，所述遮挡部件包括邻近所述准直缝的第一端部设置的第一遮挡部件，所述第一遮挡部件能够沿所述准直缝的纵向方向相对于所述准直器主体移动。

6.根据权利要求5所述的准直器，其中，所述遮挡部件还包括邻近所述准直缝的第二端部设置的第二遮挡部件，所述第二遮挡部件能够沿所述准直缝的纵向方向相对于所述准直器主体移动。

7.根据权利要求1-3中任一项所述的准直器，其中，所述遮挡部件包括在所述准直器主体的第一部分一侧设置的第一遮挡部件，所述第一遮挡部件能够在经过所述准直缝并且垂直于束流面的平面内沿垂直于所述准直缝的纵向方向的方向相对于所述准直器主体移动。

8.根据权利要求7所述的准直器，其中，所述遮挡部件还包括在所述准直器主体的第二部分一侧设置的第二遮挡部件，所述第二遮挡部件能够在经过所述准直缝并且垂直于束流面的平面内沿垂直于所述准直缝的纵向方向的方向相对于所述准直器主体移动。

9.根据权利要求8所述的准直器，其中，所述第一遮挡部件和/或所述第二遮挡部件的横截面为多级台阶的形状或三角形形状。

10.根据权利要求1-3中任一项所述的准直器，其中，所述遮挡部件包括邻近所述准直缝的第一端部设置的第一遮挡部件和第一枢轴，所述第一枢轴在平行于束流面且垂直于所述准直缝的纵向方向的方向上延伸，所述第一遮挡部件能够围绕所述第一枢轴相对于所述准直器主体转动。

11.根据权利要求10所述的准直器，其中，所述遮挡部件还包括邻近所述准直缝的第二端部设置的第二遮挡部件和第二枢轴，所述第二枢轴在平行于束流面且垂直于所述准直缝的纵向方向的方向上延伸，所述第二遮挡部件能够围绕所述第二枢轴相对于所述准直器主体转动。

12.根据权利要求11所述的准直器，其中，所述第一遮挡部件和/或所述第二遮挡部件具有半圆形横截面的平面板状结构。

13.根据权利要求11或12所述的准直器，其中，所述第一遮挡部件和所述第二遮挡部件在射线射出的方向上与所述准直缝间隔不同的距离。

14.根据权利要求1-3中任一项所述的准直器，其中，所述遮挡部件包括邻近所述准直缝的第一端部设置的第一遮挡部件和第一枢轴，所述第一枢轴的轴线在垂直于束流面的方向上延伸，所述第一遮挡部件能够在束流面的平面内围绕所述第一枢轴相对于所述准直器主体转动。