[发明专利]液体处理装置和液体处理方法

权利要求书

1.一种液体处理装置，其与对被处理基板供给处理液的处理液供给喷嘴连接，所述液体处理装置的特征在于，包括：

将存储所述处理液的处理液存储容器和所述处理液供给喷嘴连接的供给管路；

过滤器装置，其设置于所述供给管路，对所述处理液进行过滤，并且将混入所述处理液中的异物除去；

在所述过滤器装置的二次侧的所述供给管路设置的泵；

在所述泵的二次侧的所述供给管路设置的供给控制阀；

在所述过滤器装置的一次侧，且在所述处理液存储容器的二次侧的所述供给管路设置的第一开闭阀；和

控制所述泵、供给控制阀和第一开闭阀的控制装置，

在所述供给控制阀和所述第一开闭阀关闭的状态下，利用所述泵的驱动机构的驱动使所述泵部分成为负压，以使存在于所述处理液中的微小的气泡显在化。

2.如权利要求1所述的液体处理装置，其特征在于，还包括：

将所述泵的循环兼排气侧和所述过滤器装置的吸入侧连接的循环管路；和

在所述泵的循环兼排气侧设置的、能够有选择地向所述循环管路供给所述处理液的第二开闭阀，

所述控制装置控制所述第二开闭阀，

通过关闭所述供给控制阀，从所述处理液供给喷嘴向所述被处理基板的处理液的供给停止时，在所述第二开闭阀和所述第一开闭阀关闭的状态下，利用所述泵的驱动机构的驱动使所述泵部分成为负压，以使存在于所述处理液中的微小的气泡显在化，之后打开所述第二开闭阀，驱动所述泵，在设置所述过滤器装置的所述供给管路与所述循环管路之间使所述处理液循环。

3.如权利要求2所述的液体处理装置，其特征在于：

还具备设置在所述泵的吸入侧的吸入侧开闭阀，通过所述控制装置，关闭了所述供给控制阀、所述第二开闭阀、所述第一开闭阀和所述吸入侧开闭阀的状态下，使所述泵部分成为负压。

4.一种液体处理方法，其特征在于：

该液体处理方法使用液体处理装置，

所述液体处理装置包括：

将存储处理液的处理液存储容器和对被处理基板供给所述处理液的处理液供给喷嘴连接的供给管路；

过滤器装置，其设置于所述供给管路，对所述处理液进行过滤，并且将混入所述处理液中的异物除去；

在所述过滤器装置的二次侧的所述供给管路设置的泵；

在所述泵的二次侧的所述供给管路设置的供给控制阀；

在所述过滤器装置的一次侧，且在所述处理液存储容器的二次侧的所述供给管路设置的第一开闭阀；和

控制所述泵、供给控制阀和第一开闭阀的控制装置，

所述液体处理方法包括：

脱气工序，在关闭了所述供给控制阀和所述第一开闭阀的状态下，利用所述泵的驱动机构的驱动使所述泵部分成为负压，以使存在于所述处理液中的微小的气泡显在化，将已显在化的气泡排出至所述供给管路的外部。

5.如权利要求4所述的液体处理方法，其特征在于：

所述液体处理装置还包括：

将所述泵的循环兼排气侧和所述过滤器装置的吸入侧连接的循环管路；和

在所述泵的循环兼排气侧设置的、能够有选择地向所述循环管路供给所述处理液的第二开闭阀，

所述控制装置控制所述第二开闭阀，

该液体处理方法还包括：

打开所述供给控制阀并关闭所述第二开闭阀，使所述泵驱动以向所述被处理基板供给所述处理液的处理液供给工序；和

在不进行所述处理液供给工序时，关闭所述供给控制阀并打开所述第二开闭阀，使所述泵驱动以使所述处理液在所述循环管路和所述供给管路之间循环的循环工序，

所述脱气工序包含于所述循环工序。