[发明专利]一种压电陶瓷二维阵的成阵方法在审
| 申请号: | 201510982086.7 | 申请日: | 2015-12-23 |
| 公开(公告)号: | CN105390606A | 公开(公告)日: | 2016-03-09 |
| 发明(设计)人: | 李勤博;申扣喜;丁锦鸣;王洪亮 | 申请(专利权)人: | 海鹰企业集团有限责任公司 |
| 主分类号: | H01L41/08 | 分类号: | H01L41/08;H01L41/187;H01L41/22;H01L41/253 |
| 代理公司: | 总装工程兵科研一所专利服务中心 32002 | 代理人: | 杨立秋 |
| 地址: | 214035 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 压电 陶瓷 二维 方法 | ||
技术领域
本发明涉及压电陶瓷二维阵的技术领域,尤其是一种压电陶瓷二维阵的成阵方法。
背景技术
压电陶瓷一维阵(线阵)成阵工艺已经非常成熟,基本做法如图1是将每一路压电陶瓷基元1在直角坐标系的X轴方向排列,电极面2(银层)垂直于Z轴方向,其中一面银层和背衬3胶合;一维阵的压电陶瓷基元1多数情况下所有负极(和背衬3胶合的一极)连在一起作为共用电极,正极通过导线4单独引出,有些特殊的一维阵要求每路压电陶瓷基元1的正负极单独引出,但都是从直角坐标系的Y方向引出,这种电极引出方式操作方便,不会影响压电陶瓷基元1的边界条件和声场条件。
二维阵(面阵)可认为是一维阵(线阵)在直角坐标系的Y轴方向组成的线阵,常规做法是用基元拼成二维阵,基元之间的一致性,基元之间的几何位置尺寸难以保证,若有一个基元极性相反,则造成二维阵报废;二维阵的每个基元所在的XY面上周围都是和自己相同的基元,电极无法从X轴方向或者Y轴方向引出,电极引出只能从Z轴方向,由于声辐射不能受到影响,所以电极引出只能从背衬方向引出,而辐射面作为共用电极;二维阵电极引出是压电陶瓷二维阵成阵能否成功的关键,但是,目前的背衬多数是针对一维阵设计,由于二维阵的基元数多,电极引出较为复杂,工艺实施难度高、可靠性差,背衬结构也需要特殊设计。
发明内容
本发明要解决的技术问题是克服现有的缺陷,提供一种压电陶瓷二维阵的成阵方法,保证了基元的一致性和指向性的要求,电极引出工艺提高了压电陶瓷二维阵的成品率和制作效率。
为了解决上述技术问题,本发明提供了如下的技术方案:
本发明一种压电陶瓷二维阵的成阵方法,包括以下步骤:
(1)压电陶瓷的正极面经过表面粗化处理;
(2)将压电陶瓷的正极面通过导电胶胶合到带有插针的背衬上;
(3)按照二维阵基元的间距要求将压电陶瓷通过高精度划片机进行切割,切割至导电胶横向切断;
(4)切割后形成的基元和插针一一对应且基元的电极和插针导通。
进一步地,步骤(1)中表面粗化可采用喷砂或打毛方式。
进一步地,步骤(2)中背衬上的插针均匀分布成二维结构。
进一步地,步骤(2)中带有插针的背衬采用灌注方式一次成型。
进一步地,步骤(3)中切割的深度大于压电陶瓷的厚度。
本发明的有益效果:
1、表面粗化处理使胶合牢固,不至于被切割时产生的撕扯力破坏。
2、表面粗化处理使胶合均匀,压电陶瓷的正极面上每个局部不会存在气泡,保证了基元间电容量、导纳等参数的一致性。
3、导电胶和插针解决了每个基元电极引出的问题,提高了大面积多基元压电陶瓷二维阵的成品率和制作效率。
4、胶合后再切割使每个基元的位置准确、尺寸一致,从而保证了基元之间的一致性和指向性,从而提高二维阵的性能。
附图说明
图1为压电陶瓷一维阵的结构示意图;
图2为未胶合的压电陶瓷和背衬;
图3为已胶合的压电陶瓷和背衬;
图4为已切割的压电陶瓷和背衬;
图5为压电陶瓷二维阵的结构示意图;
图6为背衬的正视图;
图7为背衬的俯视图。
具体实施方式
本发明所列举的实施例,只是用于帮助理解本发明,不应理解为对本发明保护范围的限定,对于本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本发明思想的前提下,还可以对本发明进行改进和修饰,这些改进和修饰也落入本发明权利要求保护的范围内。
一种压电陶瓷二维阵的成阵方法,包括以下步骤:
(1)如图2所示,压电陶瓷10(面积和背衬6相同)的正极面11(胶合面)经过表面粗化(表面粗化可用喷砂或打毛等常规工艺方式实现)处理;
(2)如图3所示,将压电陶瓷10的正极面11通过导电胶8胶合到带有插针7的背衬6上;
(3)如图4所示,按照二维阵基元的间距要求将压电陶瓷10通过高精度划片机进行切割,切割至导电胶8横向切断;
(4)如图5所示,切割后形成的基元5和插针7一一对应且基元5的电极和插针7导通。
如图5所示,为采用上述方法制成的压电陶瓷二维阵的结构,其中每个基元5的尺寸完全相同,均为a×a×h,其中a×a面为辐射面和胶合面,h为厚度或高度,相邻两个基元5的中心距为b,其中b略大于a,相邻两个基元5存在宽度为b-a的缝隙,即为高精度划片机进行切割所形成的刀缝9宽度。
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