[发明专利]一种金属化铁氧体磁芯及其制备方法在审
| 申请号： | 201510946887.8 | 申请日： | 2015-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN105405601A | 公开（公告）日： | 2016-03-16 |
| 发明（设计）人： | 朱小东 | 申请（专利权）人： | 深圳市康磁电子有限公司 |
| 主分类号： | H01F27/24 | 分类号： | H01F27/24;H01F1/10;H01F17/04;H01F41/02;C23C14/35;C23C14/18 |
| 代理公司： | 广州三环专利代理有限公司 44202 | 代理人： | 郝传鑫;熊永强 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市龙岗区平湖街道*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 金属化 铁氧体 及其 制备 方法 | ||
1.一种金属化铁氧体磁芯，包括铁氧体磁芯，所述铁氧体磁芯上设置有电极区域，其特征在于，所述电极区域上形成有用于与其他器件连接的金属镀层，所述金属镀层包括依次层叠形成在所述电极区域表面的铬层、镍铜合金层和银层，所述铬层、镍铜合金层和银层通过磁控溅射制备。
2.如权利要求1所述的金属化铁氧体磁芯，其特征在于，所述铬层的厚度为0.1-1.0微米。
3.如权利要求1所述的金属化铁氧体磁芯，其特征在于，所述镍铜合金层的厚度为0.7-2.0微米，所述镍铜合金层中，镍的质量含量大于70％。
4.如权利要求1所述的金属化铁氧体磁芯，其特征在于，所述银层的厚度为0.1-1.0微米。
5.如权利要求1所述的金属化铁氧体磁芯，其特征在于，所述银层的银纯度为3N以上。
6.一种金属化铁氧体磁芯的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
(1)取铁氧体磁芯，将所述铁氧体磁芯清洗并烘干，所述铁氧体磁芯上设置有电极区域；
(2)采用磁控溅射的方式在所述电极区域表面制备金属镀层，得到金属化铁氧体磁芯，所述金属镀层包括依次层叠形成在所述电极区域表面的铬层、镍铜合金层和银层。
7.如权利要求6所述的金属化铁氧体磁芯的制备方法，其特征在于，所述清洗的步骤具体包括：先采用酒精浸泡5-10分钟，然后于40-60℃温度下超声波清洗10-20分钟，再用清水漂洗1-3分钟，接着常温超声波清洗10-20分钟，最后用50-80℃热水漂洗1-3分钟。
8.如权利要求6所述的金属化铁氧体磁芯的制备方法，其特征在于，采用磁控溅射制备所述铬层的过程中：以金属铬为靶材，所述铬层的厚度为0.1-1.0微米。
9.如权利要求6所述的金属化铁氧体磁芯的制备方法，其特征在于，采用磁控溅射制备所述镍铜合金层的过程中：以镍铜合金为靶材，所述镍铜合金层的厚度为0.7-2.0微米，所述镍铜合金层中，镍的质量含量大于70％。
10.如权利要求6所述的金属化铁氧体磁芯的制备方法，其特征在于，采用磁控溅射制备所述银层的过程中：以金属银为靶材，所述银层的厚度为0.1-1.0微米。
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