[发明专利]薄膜沉积装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种薄膜沉积装置，更为详细地，涉及一种能够防止沉积物质不必要地供应 到腔室内部空间的同时，能够再利用通过原料收集部收集到的沉积物质的薄膜沉积装置。

背景技术

通常，有机电发光元件(OLED：OrganicLightEmittingDiodes)可在低于以往的液晶显 示装置(LCD：liquidcrystaldisplay)的电压中进行驱动，并能解决薄型化、广视角、快速 应答速度等在LCD中作为问题指出的缺点。

有机电发光元件可分为未对每个像素设置开关元件的无源矩阵型有机电发光元件 (PassiveMatrixOLED)和对每个像素利用薄膜晶体管形成开关元件而使用的有源矩阵型有 机电发光元件(ActiveMatrixOLED)。其中，有源矩阵型有机电发光元件的结构在基板上形 成有机发光部，并且封装(Encapsulation)有机发光部而防止由有机物形成的有机发光部接 触氧气及水分而氧化或者劣化。

以往的封装方法利用由金属或者玻璃材质形成的盖子来密封有机发光部。但是，这种方 法不仅难以实现薄型化，还由于使用金属或者玻璃，难以实现弯曲的显示器。最近，提出有 在有机发光部的表面上形成有保护膜的方法，该保护膜由聚合物层(Polymerlayer)和无机 物层(Inorganiclayer)反复层压而成。这种方法多层沉积无机物和单体(Monomer)后利用 紫外线(UV)进行固化，以使单体变成聚合物。

用于形成这种保护膜的以往的单体沉积装置，从装有液状单体的容器中使单体气化，并 将其在形成有内部空间的沉积单元中储存一段时间之后，向基板喷射气态单体。当在基板上 沉积一定厚度的单体后，对基板进行固化而使单体变成聚合物。

在如上所述的单体的沉积过程中，部分单体蒸气沉积到基板上，剩余单体蒸气向基板周 边移动并沉积到基板周边的部件上。另外，通过移送单元向一方向移送基板，在向一方向移 送基板时，可在基板的一面上沉积单体蒸气。在此过程中，没有沉积到基板上的单体蒸气沉 积到移送单元上。由于这种单体，有可能导致移送单元的动作变得不稳定或者移送单元遭到 破损。此时，停止单体沉积装置的运行并除去沉积到移送单元的单体。而且，在难以除去单 体时更换移送单元。进行这种维护作业期间工序被停止，导致生产效率的下降。而且，移送 单元和基板周边部件的更换周期越短，维护费用越增多，越导致制造费用上升。

而且，如上所述的沉积方法存在沉积效率低的问题。此时，沉积效率意味着沉积源中气 化的沉积材料中实际被沉积到基板上的沉积材料的比率，沉积效率大致为32％。特别是，利 用以往的FMM的沉积方法中，未被使用于沉积的大致68％左右的沉积材料被沉积到薄膜沉 积装置内部的不希望的区域上，导致不易进行再利用。

发明内容

因此，本发明是鉴于上述问题而提出的，其目的在于提供一种薄膜沉积装置，该装置能 够防止沉积物质不必要地供应到腔室内部空间的同时，能够再利用通过原料收集部收集到的 沉积物质。

而且，本发明的目的在于提供一种薄膜沉积装置，该装置构成为捕获器与原料供应部一 起移动而回收从原料供应部排出的沉积物质，以防止从原料供应部排出的沉积物质扩散到腔 室的不必要的空间里。

为了达到上述目的，本发明的薄膜沉积装置包括：腔室，其形成有内部空间，在形成上 表面的遮断膜的一区域中形成有供沉积对象基板配设的开口部；原料供应部，其在所述腔室 的内部空间内移动的同时向所述遮断膜提供沉积原料；及原料收集部，其在所述开口部的至 少一侧被设置在所述原料供应部和所述遮断膜之间，用于收集向遮断膜喷射的沉积原料。

其中，优选所述原料收集部包括：捕获器，其在与原料供应部相对的一面上形成有流入 口，并且设置在所述原料供应部的上侧；驱动部，其用于使所述捕获器在与原料供应部并排 的方向上往返移动；及排出部，其一端部连接于所述捕获器的流入口，另一端连接于腔室的 外部，用于排出收集到捕获器中的沉积原料。

而且，所述驱动部优选包括：驱动杆，其一端部能够转动地连接于腔室，另一端部连接 于捕获器，用于使捕获器在与原料供应部并排的方向上往返移动；及驱动马达，用于向所述 驱动杆提供驱动力。

而且，优选通过在腔室的内壁面与原料供应部的移动方向并排设置的线性导向器，来引 导所述捕获器的往返移动。