[发明专利]标径BGA封装金属焊球的制备方法及模具有效

专利信息
申请号: 201510854262.9 申请日: 2015-11-30
公开(公告)号: CN105489511B 公开(公告)日: 2019-01-25
发明(设计)人: 王峰;赵海琴 申请(专利权)人: 苏州瑞而美光电科技有限公司
主分类号: H01L21/60 分类号: H01L21/60
代理公司: 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 代理人: 孙仿卫
地址: 215221 江苏省苏州市*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 模具 金属焊球 制备 阵列通孔 成球 电子封装技术 耐高温不粘层 金属原材料 生产成本低 保护气体 均匀性好 熔融金属 生产效率 直径可控 球表面 真圆度 刮刀 球径 熔融 脱模 植球 冷却 收缩 应用
【权利要求书】:

1.一种标径BGA封装金属焊球的制备方法,其特征在于:包括以下步骤:

a .在一模板(1)上开设形成阵列的若干通孔(2),所述通孔(2)的横截面形状为圆形或多边形,所述多边形包括三角形和方形,在载球板(3)上开设数量和位置与所述模板(1)上的通孔(2)相对应的若干弧形凹坑(7),并在该模板(1)的上表面与所述载球板(3)的上表面分别采用含氟硅酸盐粒子材料涂覆形成不粘层(4),将所述模板(1)可脱离地叠加于所述载球板(3)上方并使二者相贴合;

b .将制备标径BGA封装金属焊球的原材料置于所述模板(1)上,在保护气体的保护下,通过加热使所述原材料成为熔融状态;

c .用刮刀(6)将所述模板(1)上的熔融状态的原材料刮入所述通孔(2)内;

d .通过冷却使所述通孔(2)内的熔融状态的原材料在表面张力的作用下,在所述载球板(3)上收缩成球,并硬化形成标径BGA封装金属焊球(9)。

2.根据权利要求1所述的标径BGA封装金属焊球的制备方法,其特征在于:所述的含氟硅酸盐粒子材料为特氟龙材质。

3.根据权利要求1所述的标径BGA封装金属焊球的制备方法,其特征在于:所述的标径BGA封装金属焊球(9)的半径为0 .1~1mm。

4.根据权利要求1所述的标径BGA封装金属焊球的制备方法,其特征在于:所述的模板(1)和载球板(3)采用不锈钢板或陶瓷板。

5.根据权利要求1所述的标径BGA封装金属焊球的制备方法,其特征在于:所述的保护气体为氮气和惰性气体中的一种或几种的组合。

6.根据权利要求1所述的标径BGA封装金属焊球的制备方法,其特征在于:所述的步骤b中的加热方法为电加热、射频加热或红外加热。

7.根据权利要求1所述的标径BGA封装金属焊球的制备方法,其特征在于:所述的步骤d中的冷却方法为通过低温箱冷却或通过冷却水冷却。

8.一种用于权利要求1所述的标径BGA封装金属焊球的制备方法的模具,其特征在于:它包括由上至下依次设置的模板(1)和载球板(3),所述的模板(1)上开设有形成阵列的若干通孔(2),且所述模板(1)的上表面和所述载球板(3)的上表面分别采用含氟硅酸盐粒子材料涂覆形成的不粘层(4),所述的模板(1)与载球板(3)可脱离地相贴合。

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